सेमीसेरा उच्च गुणवत्ता वाला रिवाज प्रस्तुत करता हैसिलिकॉन कार्बाइड कैंटिलीवर पैडलअर्धचालक विनिर्माण प्रक्रियाओं को उन्नत करने के लिए तैयार किया गया। नवोन्वेषीSiC चप्पूडिज़ाइन असाधारण स्थायित्व और उच्च तापीय प्रतिरोध सुनिश्चित करता है, जो इसे चुनौतीपूर्ण उच्च तापमान वाले वातावरण में वेफर हैंडलिंग के लिए एक आवश्यक घटक बनाता है।
सिलिकॉन कार्बाइड चप्पूअर्धचालक उत्पादन के महत्वपूर्ण चरणों के दौरान विश्वसनीय वेफर परिवहन सुनिश्चित करते हुए, संरचनात्मक अखंडता को बनाए रखते हुए अत्यधिक तापीय चक्रों का सामना करने के लिए बनाया गया है। बेहतर यांत्रिक शक्ति के साथ, यहवेफर नाववेफर्स के क्षतिग्रस्त होने के जोखिम को कम करता है, जिससे उच्च पैदावार और लगातार उत्पादन गुणवत्ता प्राप्त होती है।
सेमीसेरा के SiC पैडल में प्रमुख नवाचारों में से एक इसके कस्टम डिज़ाइन विकल्पों में निहित है। विशिष्ट उत्पादन आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए तैयार, पैडल विभिन्न उपकरण सेटअपों के साथ एकीकरण में लचीलापन प्रदान करता है, जो इसे आधुनिक निर्माण प्रक्रियाओं के लिए एक आदर्श समाधान बनाता है। हल्का लेकिन मजबूत निर्माण आसान संचालन को सक्षम बनाता है और परिचालन डाउनटाइम को कम करता है, जो सेमीकंडक्टर उत्पादन में बेहतर दक्षता में योगदान देता है।
इसके तापीय और यांत्रिक गुणों के अलावा,सिलिकॉन कार्बाइड चप्पूउत्कृष्ट रासायनिक प्रतिरोध प्रदान करता है, जो इसे कठोर रासायनिक वातावरण में भी विश्वसनीय रूप से कार्य करने की अनुमति देता है। यह इसे नक़्क़ाशी, जमाव और उच्च तापमान उपचार से जुड़ी प्रक्रियाओं में उपयोग के लिए विशेष रूप से उपयुक्त बनाता है, जहां उच्च गुणवत्ता वाले आउटपुट सुनिश्चित करने के लिए वेफर नाव की अखंडता को बनाए रखना महत्वपूर्ण है।
पुनर्क्रिस्टलीकृत सिलिकॉन कार्बाइड के भौतिक गुण | |
संपत्ति | विशिष्ट मूल्य |
कार्य तापमान (डिग्री सेल्सियस) | 1600°C (ऑक्सीजन के साथ), 1700°C (कम करने वाला वातावरण) |
SiC सामग्री | > 99.96% |
निःशुल्क सी सामग्री | <0.1% |
थोक घनत्व | 2.60-2.70 ग्राम/सेमी3 |
स्पष्ट सरंध्रता | <16% |
संपीड़न ताकत | > 600 एमपीए |
ठंडी झुकने की ताकत | 80-90 एमपीए (20 डिग्री सेल्सियस) |
गर्म झुकने की शक्ति | 90-100 एमपीए (1400 डिग्री सेल्सियस) |
थर्मल विस्तार @1500°C | 4.70 10-6/डिग्री सेल्सियस |
तापीय चालकता @1200°C | 23 डब्लू/एम•के |
लोचदार मापांक | 240 जीपीए |
थर्मल शॉक प्रतिरोध | बहुत ही अच्छा |