SiC वेफर नाव
सिलिकॉन कार्बाइड वेफर नाववेफर्स के लिए एक भार वहन करने वाला उपकरण है, जिसका उपयोग मुख्य रूप से सौर और अर्धचालक प्रसार प्रक्रियाओं में किया जाता है।इसमें पहनने के प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध, उच्च तापमान प्रभाव प्रतिरोध, प्लाज्मा बमबारी के प्रतिरोध, उच्च तापमान सहन क्षमता, उच्च तापीय चालकता, उच्च गर्मी लंपटता और दीर्घकालिक उपयोग जैसी विशेषताएं हैं जिन्हें मोड़ना और विकृत करना आसान नहीं है।हमारी कंपनी सेवा जीवन सुनिश्चित करने के लिए उच्च शुद्धता वाली सिलिकॉन कार्बाइड सामग्री का उपयोग करती है और अनुकूलित डिज़ाइन प्रदान करती है।विभिन्न ऊर्ध्वाधर और क्षैतिजवेफर नाव.
SiC चप्पू
सिलिकॉन कार्बाइड ब्रैकट चप्पूइसका उपयोग मुख्य रूप से सिलिकॉन वेफर्स की (प्रसार) कोटिंग में किया जाता है, जो उच्च तापमान पर सिलिकॉन वेफर्स की लोडिंग और परिवहन में महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है।का एक प्रमुख घटक हैअर्धचालक वेफरलोडिंग सिस्टम में निम्नलिखित मुख्य विशेषताएं हैं:
1. यह उच्च तापमान वाले वातावरण में विकृत नहीं होता है और इसमें वेफर्स पर उच्च लोडिंग बल होता है;
2. यह अत्यधिक ठंड और तेज़ गर्मी के प्रति प्रतिरोधी है, और इसकी सेवा जीवन लंबी है;
3. थर्मल विस्तार गुणांक छोटा है, जो रखरखाव और सफाई चक्र को काफी बढ़ाता है, और प्रदूषकों को काफी कम करता है।
SiC फर्नेस ट्यूब
सिलिकॉन कार्बाइड प्रक्रिया ट्यूबधात्विक अशुद्धियों के बिना उच्च शुद्धता वाले SiC से बना, वेफर को प्रदूषित नहीं करता है, और अर्धचालक और फोटोवोल्टिक प्रसार, एनीलिंग और ऑक्सीकरण प्रक्रिया जैसी प्रक्रियाओं के लिए उपयुक्त है।
SiC रोबोट शाखा
SiC रोबोट भुजा, जिसे वेफर ट्रांसफर एंड इफ़ेक्टर के रूप में भी जाना जाता है, एक रोबोटिक भुजा है जिसका उपयोग सेमीकंडक्टर वेफर्स के परिवहन के लिए किया जाता है और इसका व्यापक रूप से सेमीकंडक्टर, ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक और सौर ऊर्जा उद्योगों में उपयोग किया जाता है।उच्च कठोरता, पहनने के प्रतिरोध, भूकंपीय प्रतिरोध, विरूपण के बिना दीर्घकालिक उपयोग, लंबी सेवा जीवन आदि के साथ उच्च शुद्धता वाले सिलिकॉन कार्बाइड का उपयोग करके, अनुकूलित सेवाएं प्रदान की जा सकती हैं।
क्रिस्टल वृद्धि के लिए ग्रेफाइट
ग्रेफाइट हीट शील्ड
ग्रेफाइट इलेक्ट्रोड ट्यूब
ग्रेफाइट विक्षेपक
ग्रेफाइट चक
सेमीकंडक्टर क्रस्टल्स को उगाने के लिए उपयोग की जाने वाली सभी प्रक्रियाएं उच्च तापमान और संक्षारक वातावरण में संचालित होती हैं।क्रिस्टल ग्रोथ भट्टी का गर्म क्षेत्र आमतौर पर गर्मी प्रतिरोधी और संक्षारण प्रतिरोधी उच्च शुद्धता से युक्त होता है।ग्रेफाइट घटक, जैसे ग्रेफाइट हीटर, क्रूसिबल, सिलेंडर, डिफ्लेक्टर, चक, ट्यूब, रिंग, होल्डर, नट, आदि हमारा तैयार उत्पाद 5 पीपीएम से कम राख सामग्री प्राप्त कर सकता है।
सेमीडॉक्टर एपिटैक्सी के लिए ग्रेफाइट
ग्रेफाइट बेस
ग्रेफाइट एपिटैक्सियल बैरल
मोनोक्राई स्टैलिन सिलिकॉन एपिटैक्सियल बेस
एमओसीवीडी ग्रेफाइट पार्ट्स
सेमीकंडक्टर ग्रेफाइट स्थिरता
एपिटैक्सियल प्रक्रिया सब्सट्रेट के समान जाली व्यवस्था के साथ एकल क्रिस्टल सब्सट्रेट पर एकल क्रिस्टल सामग्री की वृद्धि को संदर्भित करती है।इसके लिए कई अति-उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट भागों और एसआईसी कोटिंग के साथ ग्रेफाइट बेस की आवश्यकता होती है।सेमीकंडक्टर एपिटैक्सी के लिए उपयोग किए जाने वाले उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट में अनुप्रयोगों की एक विस्तृत श्रृंखला होती है, जो उद्योग में सबसे अधिक उपयोग किए जाने वाले उपकरणों से मेल खा सकती है, साथ ही, यह बेहद उच्च है।शुद्धता, समान कोटिंग, उत्कृष्ट सेवा जीवन, और अत्यधिक उच्च रासायनिक प्रतिरोध और थर्मल स्थिरता।
इन्सुलेशन सामग्री और अन्य
सेमीकंडक्टर उत्पादन में उपयोग की जाने वाली थर्मल इन्सुलेशन सामग्री ग्रेफाइट हार्ड फेल्ट, सॉफ्ट फेल्ट, ग्रेफाइट फ़ॉइल, कार्बन मिश्रित सामग्री आदि हैं। हमारे कच्चे माल आयातित ग्रेफाइट सामग्री हैं, जिन्हें ग्राहकों के विनिर्देश के अनुसार काटा जा सकता है, और इन्हें बेचा भी जा सकता है। साबुत।कार्बन मिश्रित सामग्री का उपयोग आमतौर पर सौर मोनोक्रिस्टल और पॉलीसिलिकॉन सेल उत्पादन प्रक्रिया के लिए वाहक के रूप में किया जाता है।