SiC लेपितग्रेफाइट हाफमून भागसेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रियाओं में उपयोग किया जाने वाला एक प्रमुख घटक है, विशेष रूप से SiC एपिटैक्सियल उपकरण के लिए।हम हाफमून भाग को अत्यधिक उच्च शुद्धता, अच्छी कोटिंग एकरूपता और उत्कृष्ट सेवा जीवन के साथ-साथ उच्च रासायनिक प्रतिरोध और थर्मल स्थिरता गुणों के साथ बनाने के लिए अपनी पेटेंट तकनीक का उपयोग करते हैं।
