सेमीसेरा कावेफर कैसेटसेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रिया में एक महत्वपूर्ण घटक है, जिसे नाजुक सेमीकंडक्टर वेफर्स को सुरक्षित रूप से रखने और परिवहन करने के लिए डिज़ाइन किया गया है।वेफर कैसेटअसाधारण सुरक्षा प्रदान करता है, यह सुनिश्चित करते हुए कि प्रत्येक वेफर को हैंडलिंग, भंडारण और परिवहन के दौरान दूषित पदार्थों और भौतिक क्षति से मुक्त रखा जाता है।
उच्च शुद्धता, रसायन-प्रतिरोधी सामग्री, सेमिसेरा से निर्मितवेफर कैसेटउत्पादन के हर चरण में वेफर्स की अखंडता बनाए रखने के लिए आवश्यक उच्चतम स्तर की स्वच्छता और स्थायित्व की गारंटी देता है। इन कैसेटों की सटीक इंजीनियरिंग स्वचालित हैंडलिंग सिस्टम के साथ निर्बाध एकीकरण की अनुमति देती है, जिससे संदूषण और यांत्रिक क्षति का जोखिम कम हो जाता है।
का डिज़ाइनवेफर कैसेटइष्टतम वायु प्रवाह और तापमान नियंत्रण का भी समर्थन करता है, जो उन प्रक्रियाओं के लिए महत्वपूर्ण है जिनके लिए विशिष्ट पर्यावरणीय परिस्थितियों की आवश्यकता होती है। चाहे सफ़ाई कक्ष में उपयोग किया जाए या थर्मल प्रसंस्करण के दौरान, सेमीसेरावेफर कैसेटसेमीकंडक्टर उद्योग की कठोर मांगों को पूरा करने के लिए इंजीनियर किया गया है, जो विनिर्माण दक्षता और उत्पाद की गुणवत्ता को बढ़ाने के लिए विश्वसनीय और लगातार प्रदर्शन प्रदान करता है।
| सामान | उत्पादन | अनुसंधान | डमी |
| क्रिस्टल पैरामीटर्स | |||
| बहुप्रकार | 4H | ||
| सतह अभिविन्यास त्रुटि | <11-20 >4±0.15° | ||
| विद्युत पैरामीटर्स | |||
| डोपेंट | एन-प्रकार नाइट्रोजन | ||
| प्रतिरोधकता | 0.015-0.025ओम·सेमी | ||
| यांत्रिक पैरामीटर | |||
| व्यास | 150.0±0.2मिमी | ||
| मोटाई | 350±25 माइक्रोमीटर | ||
| प्राथमिक समतल अभिविन्यास | [1-100]±5° | ||
| प्राथमिक सपाट लंबाई | 47.5±1.5मिमी | ||
| द्वितीयक फ्लैट | कोई नहीं | ||
| टीटीवी | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| एलटीवी | ≤3 μm(5मिमी*5मिमी) | ≤5 माइक्रोन(5मिमी*5मिमी) | ≤10 μm(5मिमी*5मिमी) |
| झुकना | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| ताना | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| सामने (सी-चेहरा) खुरदरापन (एएफएम) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| संरचना | |||
| माइक्रोपाइप घनत्व | <1 ईए/सेमी2 | <10 ईए/सेमी2 | <15 ईए/सेमी2 |
| धातु अशुद्धियाँ | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
| बीपीडी | ≤1500 ईए/सेमी2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| टीएसडी | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| सामने की गुणवत्ता | |||
| सामने | Si | ||
| सतही समापन | सी-फेस सीएमपी | ||
| कण | ≤60ea/वेफर (आकार≥0.3μm) | NA | |
| स्क्रैच | ≤5ea/मिमी. संचयी लंबाई ≤व्यास | संचयी लंबाई≤2*व्यास | NA |
| संतरे का छिलका/गड्ढे/दाग/धारियाँ/दरारें/संदूषण | कोई नहीं | NA | |
| एज चिप्स/इंडेंट्स/फ्रैक्चर/हेक्स प्लेटें | कोई नहीं | ||
| बहुरूपी क्षेत्र | कोई नहीं | संचयी क्षेत्रफल≤20% | संचयी क्षेत्रफल≤30% |
| फ्रंट लेजर मार्किंग | कोई नहीं | ||
| वापस गुणवत्ता | |||
| पिछला समापन | सी-फेस सीएमपी | ||
| स्क्रैच | ≤5ea/mm,संचयी लंबाई≤2*व्यास | NA | |
| पीछे के दोष (एज चिप्स/इंडेंट्स) | कोई नहीं | ||
| पीठ का खुरदरापन | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| बैक लेजर मार्किंग | 1 मिमी (ऊपरी किनारे से) | ||
| किनारा | |||
| किनारा | नाला | ||
| पैकेजिंग | |||
| पैकेजिंग | वैक्यूम पैकेजिंग के साथ एपी-रेडी मल्टी-वेफर कैसेट पैकेजिंग | ||
| *नोट्स: "एनए" का मतलब कोई अनुरोध नहीं है। जिन आइटमों का उल्लेख नहीं किया गया है वे सेमी-एसटीडी को संदर्भित कर सकते हैं। | |||
