सेमीसेरा विभिन्न घटकों और वाहकों के लिए विशेष टैंटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग्स प्रदान करता है।सेमीसेरा लीडिंग कोटिंग प्रक्रिया टैंटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग्स को उच्च शुद्धता, उच्च तापमान स्थिरता और उच्च रासायनिक सहनशीलता प्राप्त करने में सक्षम बनाती है, जिससे SIC/GAN क्रिस्टल और EPI परतों की उत्पाद गुणवत्ता में सुधार होता है (ग्रेफाइट लेपित TaC सुसेप्टर), और प्रमुख रिएक्टर घटकों के जीवन का विस्तार करना। टैंटलम कार्बाइड टीएसी कोटिंग का उपयोग किनारे की समस्या को हल करने और क्रिस्टल विकास की गुणवत्ता में सुधार करने के लिए है, और सेमीसेरा ने टैंटलम कार्बाइड कोटिंग तकनीक (सीवीडी) को हल कर लिया है, जो अंतरराष्ट्रीय उन्नत स्तर तक पहुंच गया है।
टैंटलम कार्बाइड लेपित वेफर वाहक व्यापक रूप से अर्धचालक विनिर्माण प्रक्रियाओं में वेफर प्रसंस्करण और हैंडलिंग प्रक्रियाओं में उपयोग किए जाते हैं। वे विनिर्माण प्रक्रिया के दौरान वेफर्स की सुरक्षा, सटीकता और स्थिरता सुनिश्चित करने के लिए स्थिर समर्थन और सुरक्षा प्रदान करते हैं। टैंटलम कार्बाइड कोटिंग्स वाहक के सेवा जीवन को बढ़ा सकती हैं, लागत कम कर सकती हैं और सेमीकंडक्टर उत्पादों की गुणवत्ता और विश्वसनीयता में सुधार कर सकती हैं।
टैंटलम कार्बाइड लेपित वेफर कैरियर का विवरण इस प्रकार है:
1. सामग्री चयन: टैंटलम कार्बाइड उत्कृष्ट प्रदर्शन, उच्च कठोरता, उच्च पिघलने बिंदु, संक्षारण प्रतिरोध और उत्कृष्ट यांत्रिक गुणों वाली एक सामग्री है, इसलिए इसका अर्धचालक निर्माण प्रक्रिया में व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है।
2. सतह कोटिंग: एक समान और घने टैंटलम कार्बाइड कोटिंग बनाने के लिए एक विशेष कोटिंग प्रक्रिया के माध्यम से वेफर वाहक की सतह पर टैंटलम कार्बाइड कोटिंग लागू की जाती है। यह कोटिंग अच्छी तापीय चालकता रखते हुए अतिरिक्त सुरक्षा और पहनने का प्रतिरोध प्रदान कर सकती है।
3. समतलता और सटीकता: टैंटलम कार्बाइड लेपित वेफर कैरियर में उच्च स्तर की समतलता और सटीकता होती है, जो विनिर्माण प्रक्रिया के दौरान वेफर्स की स्थिरता और सटीकता सुनिश्चित करती है। वेफर की गुणवत्ता और प्रदर्शन सुनिश्चित करने के लिए वाहक सतह की समतलता और फिनिश महत्वपूर्ण है।
4. तापमान स्थिरता: टैंटलम कार्बाइड लेपित वेफर वाहक उच्च तापमान वातावरण में विरूपण या ढीलापन के बिना स्थिरता बनाए रख सकते हैं, जिससे उच्च तापमान प्रक्रियाओं में वेफर्स की स्थिरता और स्थिरता सुनिश्चित होती है।
5. संक्षारण प्रतिरोध: टैंटलम कार्बाइड कोटिंग्स में उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध होता है, रसायनों और सॉल्वैंट्स के क्षरण का विरोध कर सकता है, और वाहक को तरल और गैस संक्षारण से बचा सकता है।
टीएसी के साथ और उसके बिना
TaC का उपयोग करने के बाद (दाएं)
इसके अलावा, सेमीसेरा काTaC-लेपित उत्पादकी तुलना में लंबे समय तक सेवा जीवन और अधिक उच्च तापमान प्रतिरोध प्रदर्शित करता हैSiC कोटिंग्स.प्रयोगशाला मापों से पता चला है कि हमाराTaC कोटिंग्सलंबे समय तक 2300 डिग्री सेल्सियस तक के तापमान पर लगातार काम कर सकता है। नीचे हमारे नमूनों के कुछ उदाहरण दिए गए हैं:
