TaC कोटिंगएक महत्वपूर्ण सामग्री कोटिंग है, जो आमतौर पर धातु कार्बनिक रासायनिक वाष्प जमाव (एमओसीवीडी) तकनीक द्वारा ग्रेफाइट बेस पर तैयार की जाती है। इस कोटिंग में उच्च कठोरता, उत्कृष्ट पहनने के प्रतिरोध, उच्च तापमान प्रतिरोध और रासायनिक स्थिरता जैसे उत्कृष्ट गुण हैं, और यह विभिन्न उच्च-मांग वाले इंजीनियरिंग अनुप्रयोगों के लिए उपयुक्त है।
एमओसीवीडी तकनीक आमतौर पर इस्तेमाल की जाने वाली पतली फिल्म विकास तकनीक है जो उच्च तापमान पर प्रतिक्रियाशील गैसों के साथ धातु कार्बनिक अग्रदूतों पर प्रतिक्रिया करके सब्सट्रेट सतह पर वांछित यौगिक फिल्म जमा करती है। तैयारी करते समयTaC कोटिंग, उपयुक्त धातु कार्बनिक अग्रदूतों और कार्बन स्रोतों का चयन, प्रतिक्रिया की स्थिति और जमाव मापदंडों को नियंत्रित करते हुए, एक समान और घने TaC फिल्म को ग्रेफाइट बेस पर जमा किया जा सकता है।
सेमीसेरा विभिन्न घटकों और वाहकों के लिए विशेष टैंटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग्स प्रदान करता है।सेमीसेरा लीडिंग कोटिंग प्रक्रिया टैंटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग्स को उच्च शुद्धता, उच्च तापमान स्थिरता और उच्च रासायनिक सहनशीलता प्राप्त करने में सक्षम बनाती है, जिससे SIC/GAN क्रिस्टल और EPI परतों की उत्पाद गुणवत्ता में सुधार होता है (ग्रेफाइट लेपित TaC सुसेप्टर), और प्रमुख रिएक्टर घटकों के जीवन का विस्तार करना। टैंटलम कार्बाइड टीएसी कोटिंग का उपयोग किनारे की समस्या को हल करने और क्रिस्टल विकास की गुणवत्ता में सुधार करने के लिए है, और सेमीसेरा ने टैंटलम कार्बाइड कोटिंग तकनीक (सीवीडी) को हल कर लिया है, जो अंतरराष्ट्रीय उन्नत स्तर तक पहुंच गया है।
वर्षों के विकास के बाद, सेमीसेरा ने प्रौद्योगिकी पर विजय प्राप्त कर ली हैसीवीडी टीएसीअनुसंधान एवं विकास विभाग के संयुक्त प्रयासों से। SiC वेफर्स की वृद्धि प्रक्रिया में दोष उत्पन्न होना आसान है, लेकिन उपयोग के बादटीएसी, अंतर महत्वपूर्ण है. नीचे टीएसी के साथ और बिना टीएसी के वेफर्स की तुलना की गई है, साथ ही एकल क्रिस्टल विकास के लिए सिमिसेरा के हिस्सों की भी तुलना की गई है।
टीएसी के साथ और उसके बिना
TaC का उपयोग करने के बाद (दाएं)
इसके अलावा, सेमीसेरा काTaC-लेपित उत्पादकी तुलना में लंबे समय तक सेवा जीवन और अधिक उच्च तापमान प्रतिरोध प्रदर्शित करता हैSiC कोटिंग्स.प्रयोगशाला मापों से पता चला है कि हमाराTaC कोटिंग्सलंबे समय तक 2300 डिग्री सेल्सियस तक के तापमान पर लगातार काम कर सकता है। नीचे हमारे नमूनों के कुछ उदाहरण दिए गए हैं:
