सीवीडी टीएसी कोटिंग का परिचय:
सीवीडी टीएसी कोटिंग एक ऐसी तकनीक है जो सब्सट्रेट की सतह पर टैंटलम कार्बाइड (टीएसी) कोटिंग जमा करने के लिए रासायनिक वाष्प जमाव का उपयोग करती है। टैंटलम कार्बाइड उत्कृष्ट यांत्रिक और रासायनिक गुणों के साथ एक उच्च प्रदर्शन वाली सिरेमिक सामग्री है। सीवीडी प्रक्रिया गैस प्रतिक्रिया के माध्यम से सब्सट्रेट की सतह पर एक समान TaC फिल्म उत्पन्न करती है।
मुख्य विशेषताएं:
उत्कृष्ट कठोरता और पहनने का प्रतिरोध: टैंटलम कार्बाइड में अत्यधिक कठोरता होती है, और सीवीडी टीएसी कोटिंग सब्सट्रेट के पहनने के प्रतिरोध में काफी सुधार कर सकती है। यह कोटिंग को उच्च-घिसाव वाले वातावरण में अनुप्रयोगों के लिए आदर्श बनाता है, जैसे काटने के उपकरण और मोल्ड।
उच्च तापमान स्थिरता: TaC कोटिंग्स 2200 डिग्री सेल्सियस तक के तापमान पर महत्वपूर्ण भट्टी और रिएक्टर घटकों की रक्षा करती हैं, जो अच्छी स्थिरता का प्रदर्शन करती हैं। यह अत्यधिक तापमान की स्थिति में रासायनिक और यांत्रिक स्थिरता बनाए रखता है, जिससे यह उच्च तापमान प्रसंस्करण और उच्च तापमान वाले वातावरण में अनुप्रयोगों के लिए उपयुक्त हो जाता है।
उत्कृष्ट रासायनिक स्थिरता: टैंटलम कार्बाइड में अधिकांश एसिड और क्षार के प्रति मजबूत संक्षारण प्रतिरोध होता है, और सीवीडी टीएसी कोटिंग संक्षारक वातावरण में सब्सट्रेट को होने वाले नुकसान को प्रभावी ढंग से रोक सकती है।
उच्च गलनांक: टैंटलम कार्बाइड में उच्च गलनांक (लगभग 3880°C) होता है, जो CVD TaC कोटिंग को बिना पिघले या ख़राब हुए अत्यधिक उच्च तापमान स्थितियों में उपयोग करने की अनुमति देता है।
उत्कृष्ट तापीय चालकता: TaC कोटिंग में उच्च तापीय चालकता होती है, जो उच्च तापमान प्रक्रियाओं में गर्मी को प्रभावी ढंग से नष्ट करने और स्थानीय ओवरहीटिंग को रोकने में मदद करती है।
संभावित अनुप्रयोग:
• गैलियम नाइट्राइड (GaN) और सिलिकॉन कार्बाइड एपिटैक्सियल CVD रिएक्टर घटक जिनमें वेफर कैरियर, सैटेलाइट डिश, शॉवरहेड, छत और रिसेप्टर्स शामिल हैं
• क्रूसिबल, बीज धारक, गाइड रिंग और फिल्टर सहित सिलिकॉन कार्बाइड, गैलियम नाइट्राइड और एल्यूमीनियम नाइट्राइड (एएलएन) क्रिस्टल विकास घटक
• प्रतिरोध हीटिंग तत्व, इंजेक्शन नोजल, मास्किंग रिंग और ब्रेजिंग जिग्स सहित औद्योगिक घटक
अनुप्रयोग सुविधाएँ:
• तापमान 2000 डिग्री सेल्सियस से ऊपर स्थिर, अत्यधिक तापमान पर संचालन की अनुमति देता है
हाइड्रोजन (Hz), अमोनिया (NH3), मोनोसिलेन (SiH4) और सिलिकॉन (Si) के प्रति प्रतिरोधी, कठोर रासायनिक वातावरण में सुरक्षा प्रदान करता है
• इसका थर्मल शॉक प्रतिरोध तेजी से संचालन चक्र को सक्षम बनाता है
• ग्रेफाइट में मजबूत आसंजन होता है, जो लंबी सेवा जीवन सुनिश्चित करता है और कोई कोटिंग प्रदूषण नहीं होता है।
• अनावश्यक अशुद्धियों या संदूषकों को खत्म करने के लिए अति-उच्च शुद्धता
• तंग आयामी सहनशीलता के लिए अनुरूप कोटिंग कवरेज
तकनीकी निर्देश:
सीवीडी द्वारा घने टैंटलम कार्बाइड कोटिंग्स की तैयारी：
उच्च क्रिस्टलीयता और उत्कृष्ट एकरूपता के साथ टीएसी कोटिंग:
सीवीडी टीएसी कोटिंग तकनीकी पैरामीटर्स_सेमिसेरा:
उपरोक्त विशिष्ट मान हैं.
