TaC लेपित ग्रेफाइट गाइड रिंगकी एक पतली परत के जमाव को देखेंटैंटलम कार्बाइडइसके पहनने के प्रतिरोध, उच्च तापमान प्रतिरोध और रासायनिक स्थिरता में सुधार करने के लिए ग्रेफाइट गाइड रिंग की सतह पर। यह कोटिंग आमतौर पर भौतिक वाष्प जमाव (पीवीडी) या रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) जैसी तकनीकों द्वारा ग्रेफाइट गाइड रिंग की सतह पर बनाई जाती है।
सेमीसेरा विभिन्न घटकों और वाहकों के लिए विशेष टैंटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग्स प्रदान करता है।सेमीसेरा लीडिंग कोटिंग प्रक्रिया टैंटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग्स को उच्च शुद्धता, उच्च तापमान स्थिरता और उच्च रासायनिक सहनशीलता प्राप्त करने में सक्षम बनाती है, जिससे SIC/GAN क्रिस्टल और EPI परतों की उत्पाद गुणवत्ता में सुधार होता है (ग्रेफाइट लेपित TaC सुसेप्टर), और प्रमुख रिएक्टर घटकों के जीवन का विस्तार करना। टैंटलम कार्बाइड टीएसी कोटिंग का उपयोग किनारे की समस्या को हल करने और क्रिस्टल विकास की गुणवत्ता में सुधार करने के लिए है, और सेमीसेरा ने टैंटलम कार्बाइड कोटिंग तकनीक (सीवीडी) को हल कर लिया है, जो अंतरराष्ट्रीय उन्नत स्तर तक पहुंच गया है।
वर्षों के विकास के बाद, सेमीसेरा ने प्रौद्योगिकी पर विजय प्राप्त कर ली हैसीवीडी टीएसीअनुसंधान एवं विकास विभाग के संयुक्त प्रयासों से। SiC वेफर्स की वृद्धि प्रक्रिया में दोष उत्पन्न होना आसान है, लेकिन उपयोग के बादटीएसी, अंतर महत्वपूर्ण है. नीचे टीएसी के साथ और बिना टीएसी के वेफर्स की तुलना की गई है, साथ ही एकल क्रिस्टल विकास के लिए सिमिसेरा के हिस्सों की भी तुलना की गई है।
TaC लेपित ग्रेफाइट गाइड रिंग की मुख्य विशेषताओं में शामिल हैं:
1. उच्च तापमान प्रतिरोध: TaC कोटिंग में उत्कृष्ट उच्च तापमान स्थिरता होती है और यह उच्च तापमान वातावरण में स्थिरता बनाए रख सकती है।
2. पहनने का प्रतिरोध: टैंटलम कार्बाइड की पतली परत की उच्च कठोरता गाइड रिंग को अच्छा पहनने का प्रतिरोध देती है और इसकी सेवा जीवन को बढ़ाती है।
3. रासायनिक स्थिरता: TaC कोटिंग में रासायनिक संक्षारण के खिलाफ उच्च स्थिरता होती है, जो इसे कुछ संक्षारक मीडिया में अनुप्रयोगों के लिए उपयुक्त बनाती है।
4. घर्षण कम करें: TaC कोटिंग ग्रेफाइट गाइड रिंग और अन्य घटकों के बीच घर्षण को प्रभावी ढंग से कम कर सकती है और यांत्रिक मुहरों की दक्षता में सुधार कर सकती है।
टीएसी के साथ और उसके बिना
TaC का उपयोग करने के बाद (दाएं)
इसके अलावा, सेमीसेरा काTaC-लेपित उत्पादकी तुलना में लंबे समय तक सेवा जीवन और अधिक उच्च तापमान प्रतिरोध प्रदर्शित करता हैSiC कोटिंग्स.प्रयोगशाला मापों से पता चला है कि हमाराTaC कोटिंग्सलंबे समय तक 2300 डिग्री सेल्सियस तक के तापमान पर लगातार काम कर सकता है। नीचे हमारे नमूनों के कुछ उदाहरण दिए गए हैं:
