TaC लेपित एपिटैक्सियल वेफर वाहकआमतौर पर उच्च-प्रदर्शन ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक उपकरणों, बिजली उपकरणों, सेंसर और अन्य क्षेत्रों की तैयारी में उपयोग किया जाता है। यहएपिटैक्सियल वेफर वाहकके निक्षेपण को संदर्भित करता हैटीएसीबाद की डिवाइस तैयारी के लिए विशिष्ट संरचना और प्रदर्शन के साथ एक वेफर बनाने के लिए क्रिस्टल विकास प्रक्रिया के दौरान सब्सट्रेट पर पतली फिल्म।
रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) तकनीक का उपयोग आमतौर पर तैयार करने के लिए किया जाता हैTaC लेपित एपिटैक्सियल वेफर वाहक. उच्च तापमान पर धातु कार्बनिक अग्रदूतों और कार्बन स्रोत गैसों पर प्रतिक्रिया करके, क्रिस्टल सब्सट्रेट की सतह पर एक TaC फिल्म जमा की जा सकती है। इस फिल्म में उत्कृष्ट विद्युत, ऑप्टिकल और यांत्रिक गुण हो सकते हैं और यह विभिन्न उच्च-प्रदर्शन उपकरणों की तैयारी के लिए उपयुक्त है।
सेमीसेरा विभिन्न घटकों और वाहकों के लिए विशेष टैंटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग्स प्रदान करता है।सेमीसेरा लीडिंग कोटिंग प्रक्रिया टैंटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग्स को उच्च शुद्धता, उच्च तापमान स्थिरता और उच्च रासायनिक सहनशीलता प्राप्त करने में सक्षम बनाती है, जिससे SIC/GAN क्रिस्टल और EPI परतों की उत्पाद गुणवत्ता में सुधार होता है (ग्रेफाइट लेपित TaC सुसेप्टर), और प्रमुख रिएक्टर घटकों के जीवन का विस्तार करना। टैंटलम कार्बाइड टीएसी कोटिंग का उपयोग किनारे की समस्या को हल करने और क्रिस्टल विकास की गुणवत्ता में सुधार करने के लिए है, और सेमीसेरा ने टैंटलम कार्बाइड कोटिंग तकनीक (सीवीडी) को हल कर लिया है, जो अंतरराष्ट्रीय उन्नत स्तर तक पहुंच गया है।
वर्षों के विकास के बाद, सेमीसेरा ने प्रौद्योगिकी पर विजय प्राप्त कर ली हैसीवीडी टीएसीअनुसंधान एवं विकास विभाग के संयुक्त प्रयासों से। SiC वेफर्स की वृद्धि प्रक्रिया में दोष उत्पन्न होना आसान है, लेकिन उपयोग के बादटीएसी, अंतर महत्वपूर्ण है. नीचे टीएसी के साथ और बिना टीएसी के वेफर्स की तुलना की गई है, साथ ही एकल क्रिस्टल विकास के लिए सिमिसेरा के हिस्सों की भी तुलना की गई है।
टीएसी के साथ और उसके बिना
TaC का उपयोग करने के बाद (दाएं)
इसके अलावा, सेमीसेरा काTaC-लेपित उत्पादकी तुलना में लंबे समय तक सेवा जीवन और अधिक उच्च तापमान प्रतिरोध प्रदर्शित करता हैSiC कोटिंग्स.प्रयोगशाला मापों से पता चला है कि हमाराTaC कोटिंग्सलंबे समय तक 2300 डिग्री सेल्सियस तक के तापमान पर लगातार काम कर सकता है। नीचे हमारे नमूनों के कुछ उदाहरण दिए गए हैं:
