सिलिकॉन-संसेचित सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) पैडल और वेफर कैरियर

प्रमुख विशेषताऐं

1.असाधारण उच्च तापमान प्रतिरोध

2700°C से अधिक के गलनांक के साथ, SiC सामग्री अत्यधिक गर्मी के तहत स्वाभाविक रूप से स्थिर होती है। सिलिकॉन संसेचन उनकी तापीय स्थिरता को और बढ़ाता है, जिससे वे संरचनात्मक कमजोरी या प्रदर्शन में गिरावट के बिना उच्च तापमान के लंबे समय तक संपर्क का सामना कर सकते हैं।

2.सुपीरियर तापीय चालकता

सिलिकॉन-संसेचित SiC की असाधारण तापीय चालकता समान ताप वितरण सुनिश्चित करती है, जिससे महत्वपूर्ण प्रसंस्करण चरणों के दौरान तापीय तनाव कम हो जाता है। यह गुण उपकरण के जीवनकाल को बढ़ाता है और उत्पादन डाउनटाइम को कम करता है, जिससे यह उच्च तापमान वाले थर्मल प्रसंस्करण के लिए आदर्श बन जाता है।

3.ऑक्सीकरण और संक्षारण प्रतिरोध

एक मजबूत सिलिकॉन ऑक्साइड परत सतह पर स्वाभाविक रूप से बनती है, जो ऑक्सीकरण और संक्षारण के लिए उत्कृष्ट प्रतिरोध प्रदान करती है। यह कठोर परिचालन वातावरण में दीर्घकालिक विश्वसनीयता सुनिश्चित करता है, सामग्री और आसपास के घटकों दोनों की सुरक्षा करता है।

4.उच्च यांत्रिक शक्ति और पहनने का प्रतिरोध

सिलिकॉन-संसेचित SiC में उत्कृष्ट संपीड़न शक्ति और पहनने का प्रतिरोध होता है, जो उच्च-भार, उच्च-तापमान स्थितियों के तहत इसकी संरचनात्मक अखंडता को बनाए रखता है। यह पहनने से संबंधित क्षति के जोखिम को कम करता है, विस्तारित उपयोग चक्रों पर लगातार प्रदर्शन सुनिश्चित करता है।