सिलिकॉन कार्बाइड लेपित ग्रेफाइट वेफर वाहक

1. उत्कृष्ट तापीय स्थिरता और चालकताहमारे SiC-लेपित वेफर वाहक स्थिर और सुसंगत तापमान बनाए रखने में उत्कृष्टता प्राप्त करते हैं, जो CVD प्रक्रियाओं के लिए महत्वपूर्ण है। यह समान ताप वितरण सुनिश्चित करता है, जिससे बेहतर पतली फिल्म और कोटिंग गुणवत्ता प्राप्त होती है।

2. परिशुद्धता विनिर्माणप्रत्येक वेफर कैरियर सटीक मानकों के अनुसार निर्मित किया जाता है, जिससे एक समान मोटाई और सतह की चिकनाई सुनिश्चित होती है। यह परिशुद्धता कई वेफर्स में लगातार जमाव दर और फिल्म गुणों को प्राप्त करने, समग्र विनिर्माण गुणवत्ता को बढ़ाने के लिए महत्वपूर्ण है।

3. अशुद्धता बाधाSiC कोटिंग एक अभेद्य बाधा के रूप में कार्य करती है, जो रिसेप्टर से वेफर में अशुद्धियों के प्रसार को रोकती है। यह संदूषण जोखिमों को कम करता है, जो उच्च शुद्धता वाले अर्धचालक उपकरणों के उत्पादन के लिए महत्वपूर्ण है।

4. स्थायित्व और लागत दक्षतामजबूत निर्माण और SiC कोटिंग वेफर वाहकों के स्थायित्व को बढ़ाती है, जिससे रिसेप्टर प्रतिस्थापन की आवृत्ति कम हो जाती है। इससे रखरखाव लागत कम हो जाती है और डाउनटाइम कम हो जाता है, जिससे सेमीकंडक्टर निर्माण कार्यों की दक्षता बढ़ जाती है।

5. अनुकूलन विकल्पSiC कोटिंग वाले सेमीकोरेक्स वेफर कैरियर को विशिष्ट प्रक्रिया आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए अनुकूलित किया जा सकता है, जिसमें आकार, आकृति और कोटिंग की मोटाई में भिन्नताएं शामिल हैं। यह लचीलापन विभिन्न अर्धचालक निर्माण प्रक्रियाओं की अनूठी मांगों से मेल खाने के लिए रिसेप्टर के अनुकूलन की अनुमति देता है। अनुकूलन विकल्प विशिष्ट अनुप्रयोगों, जैसे उच्च-मात्रा विनिर्माण या अनुसंधान और विकास के लिए तैयार किए गए रिसेप्टर डिज़ाइन के विकास को सक्षम करते हैं, जो विशिष्ट उपयोग के मामलों के लिए इष्टतम प्रदर्शन सुनिश्चित करते हैं।