सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग

सेमीसेरासिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंगअत्यधिक कठोर और पहनने के लिए प्रतिरोधी सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) सामग्री से बना एक उच्च प्रदर्शन सुरक्षात्मक कोटिंग है। कोटिंग आमतौर पर सीवीडी या पीवीडी प्रक्रिया द्वारा सब्सट्रेट की सतह पर जमा की जाती हैसिलिकॉन कार्बाइड कण, उत्कृष्ट रासायनिक संक्षारण प्रतिरोध और उच्च तापमान स्थिरता प्रदान करता है। इसलिए, सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग का व्यापक रूप से अर्धचालक विनिर्माण उपकरण के प्रमुख घटकों में उपयोग किया जाता है।

अर्धचालक विनिर्माण में,SiC कोटिंग1600 डिग्री सेल्सियस तक के अत्यधिक उच्च तापमान का सामना कर सकता है, इसलिए सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंग का उपयोग अक्सर उच्च तापमान या संक्षारक वातावरण में क्षति को रोकने के लिए उपकरण या उपकरणों के लिए एक सुरक्षात्मक परत के रूप में किया जाता है।

एक ही समय पर,सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंगएसिड, क्षार, ऑक्साइड और अन्य रासायनिक अभिकर्मकों के क्षरण का विरोध कर सकता है, और विभिन्न प्रकार के रासायनिक पदार्थों के लिए उच्च संक्षारण प्रतिरोध है। इसलिए, यह उत्पाद अर्धचालक उद्योग में विभिन्न संक्षारक वातावरणों के लिए उपयुक्त है।

इसके अलावा, अन्य सिरेमिक सामग्रियों की तुलना में, SiC में उच्च तापीय चालकता होती है और यह प्रभावी ढंग से गर्मी का संचालन कर सकता है। यह सुविधा निर्धारित करती है कि अर्धचालक प्रक्रियाओं में जिन्हें सटीक तापमान नियंत्रण की आवश्यकता होती है, उच्च तापीय चालकतासिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक कोटिंगगर्मी को समान रूप से फैलाने, स्थानीय ओवरहीटिंग को रोकने और यह सुनिश्चित करने में मदद करता है कि डिवाइस इष्टतम तापमान पर काम करता है।