सेमीसेराSiC कैंटिलीवर वेफर पैडलआधुनिक सेमीकंडक्टर विनिर्माण की मांगों को पूरा करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। यहवेफर चप्पूउत्कृष्ट यांत्रिक शक्ति और थर्मल प्रतिरोध प्रदान करता है, जो उच्च तापमान वाले वातावरण में वेफर्स को संभालने के लिए महत्वपूर्ण है।
SiC कैंटिलीवर डिज़ाइन सटीक वेफर प्लेसमेंट को सक्षम बनाता है, जिससे हैंडलिंग के दौरान क्षति का जोखिम कम हो जाता है। इसकी उच्च तापीय चालकता यह सुनिश्चित करती है कि वेफर चरम स्थितियों में भी स्थिर रहे, जो उत्पादन दक्षता बनाए रखने के लिए महत्वपूर्ण है।
इसके संरचनात्मक फायदों के अलावा, सेमीसेराSiC कैंटिलीवर वेफर पैडलवजन और टिकाऊपन में भी लाभ मिलता है। हल्के निर्माण से इसे संभालना और मौजूदा प्रणालियों में एकीकृत करना आसान हो जाता है, जबकि उच्च घनत्व वाली SiC सामग्री कठिन परिस्थितियों में लंबे समय तक चलने वाली स्थायित्व सुनिश्चित करती है।
पुनर्क्रिस्टलीकृत सिलिकॉन कार्बाइड के भौतिक गुण | |
संपत्ति | विशिष्ट मूल्य |
कार्य तापमान (डिग्री सेल्सियस) | 1600°C (ऑक्सीजन के साथ), 1700°C (कम करने वाला वातावरण) |
SiC सामग्री | > 99.96% |
निःशुल्क सी सामग्री | <0.1% |
थोक घनत्व | 2.60-2.70 ग्राम/सेमी3 |
स्पष्ट सरंध्रता | <16% |
संपीड़न ताकत | > 600 एमपीए |
ठंडी झुकने की ताकत | 80-90 एमपीए (20 डिग्री सेल्सियस) |
गर्म झुकने की शक्ति | 90-100 एमपीए (1400 डिग्री सेल्सियस) |
थर्मल विस्तार @1500°C | 4.70 10-6/डिग्री सेल्सियस |
तापीय चालकता @1200°C | 23 डब्लू/एम•के |
लोचदार मापांक | 240 जीपीए |
थर्मल शॉक प्रतिरोध | बहुत ही अच्छा |