विवरण
एमओसीवीडी (मेटल-ऑर्गेनिक केमिकल वेपर डिपोजिशन) के लिए सेमीकोरेक्स के एसआईसी वेफर ससेप्टर्स को एपिटैक्सियल डिपोजिशन प्रक्रियाओं की सटीक मांगों को पूरा करने के लिए इंजीनियर किया गया है। उच्च गुणवत्ता वाले सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) का उपयोग करते हुए, ये रिसेप्टर्स उच्च तापमान और संक्षारक वातावरण में अद्वितीय स्थायित्व और प्रदर्शन प्रदान करते हैं, जिससे अर्धचालक सामग्रियों की सटीक और कुशल वृद्धि सुनिश्चित होती है।
प्रमुख विशेषताऐं:
1. बेहतर सामग्री गुणउच्च-ग्रेड SiC से निर्मित, हमारे वेफर रिसेप्टर्स असाधारण तापीय चालकता और रासायनिक प्रतिरोध प्रदर्शित करते हैं। ये गुण उन्हें उच्च तापमान और संक्षारक गैसों सहित एमओसीवीडी प्रक्रियाओं की चरम स्थितियों का सामना करने में सक्षम बनाते हैं, जिससे दीर्घायु और विश्वसनीय प्रदर्शन सुनिश्चित होता है।
2. एपीटैक्सियल जमाव में परिशुद्धताहमारे SiC वेफर ससेप्टर्स की सटीक इंजीनियरिंग वेफर सतह पर समान तापमान वितरण सुनिश्चित करती है, जिससे लगातार और उच्च गुणवत्ता वाले एपिटैक्सियल परत विकास की सुविधा मिलती है। इष्टतम विद्युत गुणों वाले अर्धचालकों के उत्पादन के लिए यह परिशुद्धता महत्वपूर्ण है।
3. बढ़ी हुई स्थायित्वमजबूत SiC सामग्री कठोर प्रक्रिया वातावरण के निरंतर संपर्क में भी, पहनने और क्षरण के लिए उत्कृष्ट प्रतिरोध प्रदान करती है। यह स्थायित्व ससेप्टर प्रतिस्थापन की आवृत्ति को कम करता है, डाउनटाइम और परिचालन लागत को कम करता है।
अनुप्रयोग:
MOCVD के लिए सेमीकोरेक्स के SiC वेफर ससेप्टर्स आदर्श रूप से उपयुक्त हैं:
• अर्धचालक पदार्थों की एपीटैक्सियल वृद्धि
• उच्च तापमान वाली MOCVD प्रक्रियाएँ
• GaN, AlN और अन्य यौगिक अर्धचालकों का उत्पादन
• उन्नत अर्धचालक विनिर्माण अनुप्रयोग
सीवीडी-एसआईसी कोटिंग्स की मुख्य विशिष्टताएँ:
फ़ायदे:
•उच्चा परिशुद्धि: एकसमान और उच्च गुणवत्ता वाली एपिटैक्सियल वृद्धि सुनिश्चित करता है।
•लंबे समय तक चलने वाला प्रदर्शन: असाधारण स्थायित्व प्रतिस्थापन आवृत्ति को कम करता है।
• लागत क्षमता: कम डाउनटाइम और रखरखाव के माध्यम से परिचालन लागत को कम करता है।
•बहुमुखी प्रतिभा: विभिन्न एमओसीवीडी प्रक्रिया आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए अनुकूलन।