सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग वेफर कैरियर के साथ ग्रेफाइट सुसेप्टर

सीवीडी-एसआईसी कोटिंग में स्थिर भौतिक और रासायनिक गुणों के साथ समान संरचना, कॉम्पैक्ट सामग्री, उच्च तापमान प्रतिरोध, ऑक्सीकरण प्रतिरोध, उच्च शुद्धता, एसिड और क्षार प्रतिरोध और कार्बनिक अभिकर्मक की विशेषताएं हैं।
उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट सामग्रियों की तुलना में, ग्रेफाइट 400C पर ऑक्सीकरण करना शुरू कर देता है, जिससे ऑक्सीकरण के कारण पाउडर का नुकसान होगा, जिसके परिणामस्वरूप परिधीय उपकरणों और वैक्यूम कक्षों में पर्यावरण प्रदूषण होगा, और उच्च शुद्धता वाले वातावरण की अशुद्धियां बढ़ जाएंगी।
हालाँकि, SiC कोटिंग 1600 डिग्री पर भौतिक और रासायनिक स्थिरता बनाए रख सकती है, इसका व्यापक रूप से आधुनिक उद्योग में उपयोग किया जाता है, विशेष रूप से अर्धचालक उद्योग में।