सेमीसेरा आइसोस्टैटिक पीईसीवीडी ग्रेफाइट नाव एक उच्च शुद्धता, उच्च घनत्व वाला ग्रेफाइट उत्पाद है जिसे पीईसीवीडी (प्लाज्मा संवर्धित रासायनिक वाष्प जमाव) प्रक्रिया में वेफर समर्थन के लिए डिज़ाइन किया गया है। सेमीसेरा यह सुनिश्चित करने के लिए उन्नत आइसोस्टैटिक प्रेसिंग तकनीक का उपयोग करता है कि ग्रेफाइट नाव में उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध, आयामी स्थिरता और अच्छी तापीय चालकता है, जो अर्धचालक निर्माण प्रक्रिया में एक अनिवार्य उपभोज्य है।
सेमीसेरा आइसोस्टैटिक PECVD ग्रेफाइट नाव के निम्नलिखित फायदे हैं:
▪ उच्च शुद्धता: वेफर सतह के संदूषण से बचने के लिए ग्रेफाइट सामग्री उच्च शुद्धता और कम अशुद्धता सामग्री वाली होती है।
▪ उच्च घनत्व: उच्च घनत्व, उच्च यांत्रिक शक्ति, उच्च तापमान और उच्च वैक्यूम वातावरण का सामना कर सकता है।
▪ अच्छी आयामी स्थिरता: प्रक्रिया स्थिरता सुनिश्चित करने के लिए उच्च तापमान पर छोटे आयामी परिवर्तन।
▪ उत्कृष्ट तापीय चालकता: वेफर को ज़्यादा गर्म होने से बचाने के लिए प्रभावी ढंग से गर्मी स्थानांतरित करता है।
▪ मजबूत संक्षारण प्रतिरोध: विभिन्न संक्षारक गैसों और प्लाज्मा द्वारा क्षरण का विरोध करने में सक्षम।
प्रदर्शन पैरामीटर | semicera | एसजीएल आर6510 | प्रदर्शन पैरामीटर |
थोक घनत्व (जी/सेमी3) | 1.91 | 1.83 | 1.85 |
झुकने की ताकत (एमपीए) | 63 | 60 | 49 |
संपीड़न शक्ति (एमपीए) | 135 | 130 | 103 |
किनारे की कठोरता (एचएस) | 70 | 64 | 60 |
थर्मल विस्तार का गुणांक(10-6/K) | 85 | 105 | 130 |
थर्मल विस्तार का गुणांक(10-6/K) | 5.85 | 4.2 | 5.0 |
प्रतिरोधकता (μΩm) | 11-13 | 13 | 10 |
हमें चुनने के लाभ:
▪ सामग्री चयन: उत्पाद की गुणवत्ता सुनिश्चित करने के लिए उच्च शुद्धता वाली ग्रेफाइट सामग्री का उपयोग किया जाता है।
▪ प्रसंस्करण प्रौद्योगिकी: उत्पाद घनत्व और एकरूपता सुनिश्चित करने के लिए आइसोस्टैटिक प्रेसिंग का उपयोग किया जाता है।
▪ आकार अनुकूलन: विभिन्न आकारों और आकृतियों की ग्रेफाइट नौकाओं को ग्राहकों की आवश्यकताओं के अनुसार अनुकूलित किया जा सकता है।
▪ सतही उपचार: विभिन्न प्रक्रिया आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए विभिन्न प्रकार की सतही उपचार विधियां प्रदान की जाती हैं, जैसे कि सिलिकॉन कार्बाइड, बोरान नाइट्राइड की कोटिंग आदि।