ठोस सीवीडी सिलिकॉन कार्बाइड भागों को आरटीपी/ईपीआई रिंगों और बेस और प्लाज़्म एच कैविटी भागों के लिए प्राथमिक पसंद के रूप में पहचाना जाता है जो उच्च सिस्टम आवश्यक ऑपरेटिंग तापमान (>1500℃) पर काम करते हैं, शुद्धता की आवश्यकताएं विशेष रूप से उच्च (>99.9995%) हैं और प्रदर्शन विशेष रूप से तब अच्छा होता है जब रसायनों के प्रति प्रतिरोध विशेष रूप से अधिक होता है। इन सामग्रियों में अनाज के किनारे पर द्वितीयक चरण नहीं होते हैं, इसलिए उनके घटक अन्य सामग्रियों की तुलना में कम कण उत्पन्न करते हैं। इसके अलावा, इन घटकों को कम गिरावट के साथ गर्म एचएफ/एचसीएल का उपयोग करके साफ किया जा सकता है, जिसके परिणामस्वरूप कम कण और लंबे समय तक सेवा जीवन होता है।
