सेमीसेरा उच्च शुद्धतासिलिकॉन कार्बाइड चप्पूआधुनिक अर्धचालक विनिर्माण प्रक्रियाओं की कठोर मांगों को पूरा करने के लिए सावधानीपूर्वक इंजीनियर किया गया है। यहSiC कैंटिलीवर पैडलउच्च तापमान वाले वातावरण में उत्कृष्टता प्राप्त करता है, अद्वितीय तापीय स्थिरता और यांत्रिक स्थायित्व प्रदान करता है। SiC कैंटिलीवर संरचना चरम स्थितियों का सामना करने के लिए बनाई गई है, जो विभिन्न प्रक्रियाओं के दौरान विश्वसनीय वेफर हैंडलिंग सुनिश्चित करती है।
के प्रमुख नवाचारों में से एकSiC चप्पूइसका डिज़ाइन हल्का लेकिन मजबूत है, जो मौजूदा सिस्टम में आसान एकीकरण की अनुमति देता है। इसकी उच्च तापीय चालकता नक़्क़ाशी और जमाव जैसे महत्वपूर्ण चरणों के दौरान वेफ़र स्थिरता बनाए रखने में मदद करती है, वेफ़र क्षति के जोखिम को कम करती है और उच्च उत्पादन पैदावार सुनिश्चित करती है। पैडल निर्माण में उच्च घनत्व वाले सिलिकॉन कार्बाइड का उपयोग इसके टूट-फूट के प्रतिरोध को बढ़ाता है, विस्तारित परिचालन जीवन प्रदान करता है और बार-बार प्रतिस्थापन की आवश्यकता को कम करता है।
सेमीसेरा नवप्रवर्तन, उपलब्धि पर विशेष जोर देता हैSiC कैंटिलीवर पैडलजो न केवल उद्योग मानकों को पूरा करता है बल्कि उनसे भी आगे है। यह पैडल विभिन्न अर्धचालक अनुप्रयोगों में उपयोग के लिए अनुकूलित है, जमाव से लेकर नक़्क़ाशी तक, जहां सटीकता और विश्वसनीयता महत्वपूर्ण है। इस अत्याधुनिक तकनीक को एकीकृत करके, निर्माता बेहतर दक्षता, कम रखरखाव लागत और लगातार उत्पाद गुणवत्ता की उम्मीद कर सकते हैं।
पुनर्क्रिस्टलीकृत सिलिकॉन कार्बाइड के भौतिक गुण | |
संपत्ति | विशिष्ट मूल्य |
कार्य तापमान (डिग्री सेल्सियस) | 1600°C (ऑक्सीजन के साथ), 1700°C (कम करने वाला वातावरण) |
SiC सामग्री | > 99.96% |
निःशुल्क सी सामग्री | <0.1% |
थोक घनत्व | 2.60-2.70 ग्राम/सेमी3 |
स्पष्ट सरंध्रता | <16% |
संपीड़न ताकत | > 600 एमपीए |
ठंडी झुकने की ताकत | 80-90 एमपीए (20 डिग्री सेल्सियस) |
गर्म झुकने की शक्ति | 90-100 एमपीए (1400 डिग्री सेल्सियस) |
थर्मल विस्तार @1500°C | 4.70 10-6/डिग्री सेल्सियस |
तापीय चालकता @1200°C | 23 डब्लू/एम•के |
लोचदार मापांक | 240 जीपीए |
थर्मल शॉक प्रतिरोध | बहुत ही अच्छा |