सेमीसेरा विभिन्न घटकों और वाहकों के लिए विशेष टैंटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग्स प्रदान करता है।सेमीसेरा लीडिंग कोटिंग प्रक्रिया टैंटलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग्स को उच्च शुद्धता, उच्च तापमान स्थिरता और उच्च रासायनिक सहनशीलता प्राप्त करने में सक्षम बनाती है, जिससे SIC/GAN क्रिस्टल और EPI परतों की उत्पाद गुणवत्ता में सुधार होता है (ग्रेफाइट लेपित TaC सुसेप्टर), और प्रमुख रिएक्टर घटकों के जीवन का विस्तार करना। टैंटलम कार्बाइड टीएसी कोटिंग का उपयोग किनारे की समस्या को हल करने और क्रिस्टल विकास की गुणवत्ता में सुधार करने के लिए है, और सेमीसेरा ने टैंटलम कार्बाइड कोटिंग तकनीक (सीवीडी) को हल कर लिया है, जो अंतरराष्ट्रीय उन्नत स्तर तक पहुंच गया है।
8-इंच सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) वेफर्स के आगमन के साथ, विभिन्न अर्धचालक प्रक्रियाओं की आवश्यकताएं तेजी से कठोर हो गई हैं, विशेष रूप से एपिटेक्सी प्रक्रियाओं के लिए जहां तापमान 2000 डिग्री सेल्सियस से अधिक हो सकता है। पारंपरिक अतिसंवेदनशील सामग्रियां, जैसे कि सिलिकॉन कार्बाइड से लेपित ग्रेफाइट, इन उच्च तापमानों पर ऊर्ध्वपातन की प्रवृत्ति रखती हैं, जिससे एपिटेक्सी प्रक्रिया बाधित होती है। हालाँकि, CVD टैंटलम कार्बाइड (TaC) 2300 डिग्री सेल्सियस तक के तापमान को सहन करके और लंबे समय तक सेवा जीवन प्रदान करके इस समस्या को प्रभावी ढंग से संबोधित करता है। सेमीसेरा' से संपर्क करेंs सीवीडी टैंटलम कार्बाइड लेपित हाफमून भागहमारे उन्नत समाधानों के बारे में और अधिक जानने के लिए।
वर्षों के विकास के बाद, सेमीसेरा ने प्रौद्योगिकी पर विजय प्राप्त कर ली हैसीवीडी टीएसीअनुसंधान एवं विकास विभाग के संयुक्त प्रयासों से। SiC वेफर्स की वृद्धि प्रक्रिया में दोष उत्पन्न होना आसान है, लेकिन उपयोग के बादटीएसी, अंतर महत्वपूर्ण है. नीचे टीएसी के साथ और बिना टीएसी के वेफर्स की तुलना की गई है, साथ ही एकल क्रिस्टल विकास के लिए सिमिसेरा के हिस्सों की भी तुलना की गई है।
टीएसी के साथ और उसके बिना
TaC का उपयोग करने के बाद (दाएं)
इसके अलावा, सेमीसेरा काTaC-लेपित उत्पादकी तुलना में लंबे समय तक सेवा जीवन और अधिक उच्च तापमान प्रतिरोध प्रदर्शित करता हैSiC कोटिंग्स.प्रयोगशाला मापों से पता चला है कि हमाराTaC कोटिंग्सलंबे समय तक 2300 डिग्री सेल्सियस तक के तापमान पर लगातार काम कर सकता है। नीचे हमारे नमूनों के कुछ उदाहरण दिए गए हैं:
TaC लेपित सुसेप्टर
TaC लेपित रिएक्टर के साथ ग्रेफाइट
