सीवीडी एसआईसी कोटिंग

सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग का परिचय 

हमारी रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) कोटिंग एक अत्यधिक टिकाऊ और पहनने के लिए प्रतिरोधी परत है, जो उच्च संक्षारण और थर्मल प्रतिरोध की मांग वाले वातावरण के लिए आदर्श है।सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंगसीवीडी प्रक्रिया के माध्यम से विभिन्न सब्सट्रेट्स पर पतली परतों में लगाया जाता है, जो बेहतर प्रदर्शन विशेषताओं की पेशकश करता है।

प्रमुख विशेषताऐं

       ● -असाधारण पवित्रता: की अति-शुद्ध संरचना का दावा99.99995%, हमाराSiC कोटिंगसंवेदनशील अर्धचालक संचालन में संदूषण जोखिम को कम करता है।

● -सुपीरियर प्रतिरोध: घिसाव और संक्षारण दोनों के लिए उत्कृष्ट प्रतिरोध प्रदर्शित करता है, जो इसे चुनौतीपूर्ण रासायनिक और प्लाज्मा सेटिंग्स के लिए एकदम सही बनाता है।
● -उच्च तापीय चालकता: अपने उत्कृष्ट तापीय गुणों के कारण अत्यधिक तापमान में विश्वसनीय प्रदर्शन सुनिश्चित करता है।
● -आयामी स्थिरता: अपने कम तापीय विस्तार गुणांक के कारण, तापमान की एक विस्तृत श्रृंखला में संरचनात्मक अखंडता बनाए रखता है।
● -बढ़ी हुई कठोरता: की कठोरता रेटिंग के साथ40 जीपीए, हमारी SiC कोटिंग महत्वपूर्ण प्रभाव और घर्षण का सामना करती है।
● - चिकनी सतह फ़िनिश: दर्पण जैसी फिनिश प्रदान करता है, कण उत्पादन को कम करता है और परिचालन दक्षता को बढ़ाता है।

अनुप्रयोग

सेमीसेरा SiC कोटिंग्सअर्धचालक निर्माण के विभिन्न चरणों में उपयोग किया जाता है, जिनमें शामिल हैं:

●-एलईडी चिप निर्माण
●-पॉलीसिलिकॉन उत्पादन
●-सेमीकंडक्टर क्रिस्टल ग्रोथ
●-सिलिकॉन और SiC एपिटैक्सी
●-थर्मल ऑक्सीकरण और प्रसार (टीओ एंड डी)

हम उच्च शक्ति वाले आइसोस्टैटिक ग्रेफाइट, कार्बन फाइबर-प्रबलित कार्बन और 4N पुनर्क्रिस्टलीकृत सिलिकॉन कार्बाइड से तैयार किए गए SiC-लेपित घटकों की आपूर्ति करते हैं, जो द्रवीकृत-बेड रिएक्टरों के लिए तैयार किए गए हैं।STC-TCS कन्वर्टर्स, CZ यूनिट रिफ्लेक्टर, SiC वेफर बोट, SiCwafer पैडल, SiC वेफर ट्यूब, और PECVD, सिलिकॉन एपिटैक्सी, MOCVD प्रक्रियाओं में उपयोग किए जाने वाले वेफर कैरियर.

फ़ायदे

● - विस्तारित जीवनकाल: उपकरण के डाउनटाइम और रखरखाव की लागत को उल्लेखनीय रूप से कम करता है, जिससे समग्र उत्पादन क्षमता बढ़ती है।
● -बेहतर गुणवत्ता: सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण के लिए आवश्यक उच्च-शुद्धता वाली सतहों को प्राप्त करता है, जिससे उत्पाद की गुणवत्ता में वृद्धि होती है।
● -कार्यकुशलता में वृद्धि: थर्मल और सीवीडी प्रक्रियाओं को अनुकूलित करता है, जिसके परिणामस्वरूप चक्र का समय कम होता है और पैदावार अधिक होती है।

तकनीकी निर्देश     

● -संरचना: एफसीसी β चरण पॉलीक्रिस्टलाइन, मुख्य रूप से (111) उन्मुख
● -घनत्व: 3.21 ग्राम/सेमी³
● -कठोरता: 2500 विक्स कठोरता (500 ग्राम भार)
● -फ्रैक्चर कठोरता: 3.0 एमपीए·एम^1/2
● -थर्मल विस्तार गुणांक (100-600 डिग्री सेल्सियस): 4.3 x 10^-6k^-1
● -लोचदार मापांक(1300℃):435 जीपीए
●-विशिष्ट फिल्म मोटाई:100 µm
● -सतह का खुरदरापन:2-10 माइक्रोन

शुद्धता डेटा (ग्लो डिस्चार्ज मास स्पेक्ट्रोस्कोपी द्वारा मापा गया)