एएलडी परमाणु परत जमाव ग्रह संग्राहक

ALD की निम्नलिखित विशेषताएं और फायदे हैं:
1. उच्च नियंत्रणीयता:चूंकि एएलडी एक परत-दर-परत विकास प्रक्रिया है, इसलिए सामग्री की प्रत्येक परत की मोटाई और संरचना को सटीक रूप से नियंत्रित किया जा सकता है।
2. एकरूपता:एएलडी अन्य जमाव प्रौद्योगिकियों में होने वाली असमानता से बचते हुए, संपूर्ण सब्सट्रेट सतह पर समान रूप से सामग्री जमा कर सकता है।
3. गैर-छिद्रपूर्ण संरचना:चूँकि ALD एकल परमाणुओं या एकल अणुओं की इकाइयों में जमा होता है, परिणामी फिल्म में आमतौर पर घनी, गैर-छिद्रपूर्ण संरचना होती है।
4. अच्छा कवरेज प्रदर्शन:एएलडी प्रभावी ढंग से उच्च पहलू अनुपात संरचनाओं को कवर कर सकता है, जैसे नैनोपोर सरणी, उच्च छिद्र सामग्री इत्यादि।
5. स्केलेबिलिटी:ALD का उपयोग विभिन्न सब्सट्रेट सामग्रियों के लिए किया जा सकता है, जिनमें धातु, अर्धचालक, कांच आदि शामिल हैं।
6. बहुमुखी प्रतिभा:विभिन्न पूर्ववर्ती अणुओं का चयन करके, विभिन्न प्रकार की विभिन्न सामग्रियों को ALD प्रक्रिया में जमा किया जा सकता है, जैसे धातु ऑक्साइड, सल्फाइड, नाइट्राइड, आदि।