6 एलएनसीएच एन-टाइप सिक सब्सट्रेट

संक्षिप्त वर्णन:

6-इंच एन-टाइप SiC सब्सट्रेट एक अर्धचालक सामग्री है जो 6-इंच वेफर आकार के उपयोग की विशेषता है, जो एक बड़े सतह क्षेत्र पर एक ही वेफर पर उत्पादित किए जा सकने वाले उपकरणों की संख्या को बढ़ाती है, जिससे डिवाइस-स्तरीय लागत कम हो जाती है। . 6-इंच एन-प्रकार SiC सबस्ट्रेट्स के विकास और अनुप्रयोग को आरएएफ विकास विधि जैसी प्रौद्योगिकियों की प्रगति से लाभ हुआ, जो अव्यवस्थाओं और समानांतर दिशाओं के साथ क्रिस्टल को काटकर और क्रिस्टल को फिर से उगाकर अव्यवस्थाओं को कम करता है, जिससे सब्सट्रेट की गुणवत्ता में सुधार होता है। उत्पादन दक्षता में सुधार लाने और SiC बिजली उपकरणों की लागत कम करने के लिए इस सब्सट्रेट का अनुप्रयोग बहुत महत्वपूर्ण है।


उत्पाद विवरण

उत्पाद टैग

सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) एकल क्रिस्टल सामग्री में एक बड़ी बैंड गैप चौड़ाई (~Si 3 गुना), उच्च तापीय चालकता (~Si 3.3 गुना या GaAs 10 गुना), उच्च इलेक्ट्रॉन संतृप्ति प्रवासन दर (~Si 2.5 गुना), उच्च ब्रेकडाउन इलेक्ट्रिक है फ़ील्ड (~Si 10 बार या GaAs 5 बार) और अन्य उत्कृष्ट विशेषताएं।

तीसरी पीढ़ी के सेमीकंडक्टर सामग्रियों में मुख्य रूप से SiC, GaN, हीरा आदि शामिल हैं, क्योंकि इसकी बैंड गैप चौड़ाई (ईजी) 2.3 इलेक्ट्रॉन वोल्ट (ईवी) से अधिक या उसके बराबर है, जिसे वाइड बैंड गैप सेमीकंडक्टर सामग्री के रूप में भी जाना जाता है। पहली और दूसरी पीढ़ी के अर्धचालक सामग्रियों की तुलना में, तीसरी पीढ़ी के अर्धचालक सामग्रियों में उच्च तापीय चालकता, उच्च विखंडन विद्युत क्षेत्र, उच्च संतृप्त इलेक्ट्रॉन प्रवासन दर और उच्च संबंध ऊर्जा के फायदे हैं, जो उच्च के लिए आधुनिक इलेक्ट्रॉनिक प्रौद्योगिकी की नई आवश्यकताओं को पूरा कर सकते हैं। तापमान, उच्च शक्ति, उच्च दबाव, उच्च आवृत्ति और विकिरण प्रतिरोध और अन्य कठोर परिस्थितियाँ। इसमें राष्ट्रीय रक्षा, विमानन, एयरोस्पेस, तेल अन्वेषण, ऑप्टिकल स्टोरेज इत्यादि के क्षेत्रों में महत्वपूर्ण अनुप्रयोग संभावनाएं हैं, और यह ब्रॉडबैंड संचार, सौर ऊर्जा, ऑटोमोबाइल विनिर्माण जैसे कई रणनीतिक उद्योगों में ऊर्जा हानि को 50% से अधिक कम कर सकता है। सेमीकंडक्टर लाइटिंग, और स्मार्ट ग्रिड, और उपकरण की मात्रा को 75% से अधिक कम कर सकते हैं, जो मानव विज्ञान और प्रौद्योगिकी के विकास के लिए मील का पत्थर महत्व है।

सेमीसेरा ऊर्जा ग्राहकों को उच्च गुणवत्ता वाले कंडक्टिव (प्रवाहकीय), अर्ध-इन्सुलेटिंग (अर्ध-इन्सुलेटिंग), एचपीएसआई (उच्च शुद्धता अर्ध-इन्सुलेटिंग) सिलिकॉन कार्बाइड सब्सट्रेट प्रदान कर सकती है; इसके अलावा, हम ग्राहकों को सजातीय और विषम सिलिकॉन कार्बाइड एपिटैक्सियल शीट प्रदान कर सकते हैं; हम ग्राहकों की विशिष्ट आवश्यकताओं के अनुसार एपिटैक्सियल शीट को भी अनुकूलित कर सकते हैं, और कोई न्यूनतम ऑर्डर मात्रा नहीं है।

बुनियादी उत्पाद विशिष्टताएँ

आकार 6 इंच
व्यास 150.0मिमी+0मिमी/-0.2मिमी
भूतल अभिविन्यास ऑफ-अक्ष:4°की ओर<1120>±0.5°
प्राथमिक समतल लंबाई 47.5मिमी1.5मिमी
प्राथमिक फ्लैट अभिविन्यास <1120>±1.0°
द्वितीयक फ़्लैट कोई नहीं
मोटाई 350.0um±25.0um
बहुप्रकार 4H
प्रवाहकीय प्रकार N- प्रकार

क्रिस्टल गुणवत्ता विशिष्टताएँ

6 इंच
वस्तु पी-एमओएस ग्रेड पी-एसबीडी ग्रेड
प्रतिरोधकता 0.015Ω·सेमी-0.025Ω·सेमी
बहुप्रकार किसी को अनुमति नहीं
माइक्रोपाइप घनत्व ≤0.2/सेमी2 ≤0.5/सेमी2
ईपीडी ≤4000/सेमी2 ≤8000/सेमी2
टेड ≤3000/सेमी2 ≤6000/सेमी2
बीपीडी ≤1000/सेमी2 ≤2000/सेमी2
टीएसडी ≤300/सेमी2 ≤1000/सेमी2
एसएफ (यूवी-पीएल-355एनएम द्वारा मापा गया) ≤0.5% क्षेत्र ≤1% क्षेत्र
उच्च तीव्रता प्रकाश द्वारा हेक्स प्लेटें किसी को अनुमति नहीं
उच्च तीव्रता वाले प्रकाश द्वारा दृश्य कार्बन समावेशन संचयीक्षेत्रफल≤0.05%
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प्रतिरोधकता

बहुप्रकार

6 एलएनसीएच एन-टाइप सिक सब्सट्रेट (3)
6 एलएनसीएच एन-टाइप सिक सब्सट्रेट (4)

बीपीडी और टीएसडी

6 एलएनसीएच एन-टाइप सिक सब्सट्रेट (5)
SiC वेफर्स

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