वेफर कैरियर का परिचय
उत्पाद श्रेणी
▶PECVD और TALOX प्रक्रिया के लिए वेफर कैरियर सिस्टम
• PECVD और TALOX ग्रेफाइट नाव (M4~M12)
• लंबवत एसएम-बोट (एम4, एम6)
• प्रत्यारोपण एवं शॉवर ग्रेफाइट भाग (एम4~एम6)
• सी/सी ट्रे और सिरेमिक कोटिंग
• धातु RIE-ट्रे और सिरेमिक कोटिंग
• वैक्यूम सीलिंग: ओ-रिंग और एसक्यू-रिंग
▶बनावट और गीली नक़्क़ाशी स्थानांतरण प्रक्रिया
• एलएससी एच-कैरियर या कैसेट (एम4~एम12)
• एलएससी वी-कैरियर या कैसेट (एम4~एम12)
• एएससी कैरियर या कैसेट (एम4, एम6)
• डब्ल्यू/एफ कैरियर एवं स्टोरेज बॉक्स (एम4~एम12)
• ट्रांसपोर्ट व्हील (रोलर) श्रृंखला
▶सौर सेल वाहक एवं धातु वाहक
• टीआरसी कैरियर या कैसेट (एम4~एम12)
• पत्रिका (बेल्ट के साथ)
ग्रेफाइट नाव (एच-प्रकार)
19P6-216CT (WF M4~M12)
ग्रेफाइट नाव (एच-प्रकार)
21पी6-240सीटी डब्ल्यूएफ एम4~एम12)
ग्रेफाइट नाव (एच-प्रकार)
23P7-308CT(W/F M4~M12)
ग्रेफाइट नाव (एच-प्रकार)
22पी/7-294टीपी (डब्ल्यू/एफ एम4~एम12)
ग्रेफाइट नाव (एच-प्रकार)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
डब्ल्यूएफ कैरियर और भंडारण बॉक्स (~एम12)
सी/सी ट्रे या कैरियर (एम4~एम10)
सी/सी ट्रे या कैरियर (एम4~एम10)
लंबवत नाव (एसएम) एम6
एलएससी-एच-कैरियर(~एम12)
एलएससी-वी-कैरियर(~एम12)
एएससी कैरियर (~एम6)
टीआरसी कैरियर(~एम12)
टीआरसी कैरियर(~एम12)
ग्रेफाइट-नाव(एम12)
पीईसीवीडी प्रक्रिया के लिए वेफर कैरियर सिस्टम
▶ ग्रेफाइट बोट (CT-डिज़ाइन) M10/M12 प्रक्रिया
• विशेष डिजाइन अवधारणा
▶ ग्रेफाइट बोट (CT-डिज़ाइन) M4/M6 प्रक्रिया
▶ नाव सहायक भाग
▶ वर्टिकल बोट-161.7 मिमी वेफर
▶ वर्टिकल बोट-166 मिमी वेफर
▶ वर्टिकल बोट-161.7 मिमी, 166 मिमी वेफर
सौर सेल वाहक और धातु टीआरसी वाहक
प्रकार: स्वचालन
वेफर का आकार: ① 156×156MM ② 156.75×156.75MM
③161.7x161.7एमएम ④166x166एमएम
⑤ 180×180मिमी ⑥210×210मिमी
उपयोग: कैरी (कैसेट)
क्षमता: 100 शीट
पिच: 4.76 मिमी/5.953 मिमी/6.35 मिमी
आयाम: लगभग 559×220×220MM
लगभग 712×260×260MM
लाभ: वातावरण
सामग्री: फ्लेम, साइड बार-एल्यूमीनियम (एनोडाइजिंग)
साइड प्लेट-पोम (एंटीस्टेटिक)
बॉटम बार का कवर-EPDM/PU/VITON (ASE)
टीआरसी-मेटल कैरियर (यूजर लाइन)
टीआरसी-मेटल कैरियर (यूजर लाइन)
टीआरसी-मेटल कैरियर (यूजर लाइन)
शावर प्लेट और इम्प्लांट, कैरियर
