टैंटलम कार्बाइड (TaC)रासायनिक सूत्र TaC x के साथ टैंटलम और कार्बन का एक द्विआधारी यौगिक है, जहां x आमतौर पर 0.4 और 1 के बीच भिन्न होता है। वे धातु चालकता के साथ बेहद कठोर, भंगुर, दुर्दम्य सिरेमिक सामग्री हैं। वे भूरे-ग्रे पाउडर होते हैं और आमतौर पर सिंटरिंग द्वारा संसाधित होते हैं।
टैंटलम कार्बाइडएक महत्वपूर्ण धातु सिरेमिक सामग्री है। टैंटलम कार्बाइड का एक बहुत ही महत्वपूर्ण उपयोग टैंटलम कार्बाइड कोटिंग है।
टैंटलम कार्बाइड कोटिंग की उत्पाद विशेषताएं
उच्च गलनांक: का गलनांकटैंटलम कार्बाइडजितना ऊँचा है3880°C, जो इसे उच्च तापमान वाले वातावरण में स्थिर बनाता है और पिघलना या ख़राब होना आसान नहीं है।
काम की परिस्थिति :सामान्य तौर पर, टैंटलम कार्बाइड (TaC) की सामान्य कार्यशील स्थिति 2200°C होती है। इसके अत्यधिक उच्च गलनांक को ध्यान में रखते हुए, TaC को इसकी संरचनात्मक अखंडता को खोए बिना इतने उच्च तापमान का सामना करने के लिए डिज़ाइन किया गया है।
कठोरता और पहनने का प्रतिरोध: इसमें अत्यधिक उच्च कठोरता है (मोह कठोरता लगभग 9-10 है) और प्रभावी ढंग से पहनने और खरोंच का विरोध कर सकती है।
रासायनिक स्थिरता: इसमें अधिकांश एसिड और क्षार के लिए अच्छी रासायनिक स्थिरता है और यह संक्षारण और रासायनिक प्रतिक्रियाओं का प्रतिरोध कर सकता है।
ऊष्मीय चालकता: अच्छी तापीय चालकता इसे प्रभावी ढंग से गर्मी फैलाने और संचालित करने में सक्षम बनाती है, जिससे सामग्री पर गर्मी संचय का प्रभाव कम हो जाता है।
सेमीकंडक्टर उद्योग में अनुप्रयोग परिदृश्य और लाभ
एमओसीवीडी उपकरण: MOCVD (रासायनिक वाष्प जमाव) उपकरण में,टैंटलम कार्बाइड कोटिंग्सप्रतिक्रिया कक्ष और अन्य उच्च तापमान घटकों की सुरक्षा के लिए, जमा द्वारा उपकरण के क्षरण को कम करने और उपकरण की सेवा जीवन को बढ़ाने के लिए उपयोग किया जाता है।
लाभ: उपकरण के उच्च तापमान प्रतिरोध में सुधार, रखरखाव आवृत्ति और लागत को कम करना और उत्पादन दक्षता में सुधार करना।
वेफर प्रसंस्करण: वेफर प्रसंस्करण और ट्रांसमिशन सिस्टम में प्रयुक्त, टैंटलम कार्बाइड कोटिंग्स उपकरण के पहनने के प्रतिरोध और संक्षारण प्रतिरोध को बढ़ा सकती हैं।
लाभ: घिसाव या जंग के कारण होने वाली उत्पाद की गुणवत्ता की समस्याओं को कम करना, और वेफर प्रसंस्करण की स्थिरता और स्थिरता सुनिश्चित करना।
अर्धचालक प्रक्रिया उपकरण: सेमीकंडक्टर प्रक्रिया उपकरणों में, जैसे आयन इम्प्लांटर्स और एचर्स, टैंटलम कार्बाइड कोटिंग्स उपकरणों के स्थायित्व में सुधार कर सकती हैं।
लाभ: उपकरणों की सेवा जीवन को बढ़ाएं, डाउनटाइम और प्रतिस्थापन लागत को कम करें, और उत्पादन दक्षता में सुधार करें।
उच्च तापमान वाले क्षेत्र: उच्च तापमान वाले वातावरण में इलेक्ट्रॉनिक घटकों और उपकरणों में, सामग्री को उच्च तापमान से बचाने के लिए टैंटलम कार्बाइड कोटिंग्स का उपयोग किया जाता है।
लाभ: अत्यधिक तापमान की स्थिति में इलेक्ट्रॉनिक घटकों की स्थिरता और विश्वसनीयता सुनिश्चित करें।
भविष्य के विकास के रुझान
सामग्री में सुधार: भौतिक विज्ञान के विकास के साथ, निर्माण और निक्षेपण प्रौद्योगिकीटैंटलम कार्बाइड कोटिंग्सअपने प्रदर्शन को बेहतर बनाने और लागत कम करने के लिए सुधार करना जारी रखेगा। उदाहरण के लिए, अधिक टिकाऊ और कम लागत वाली कोटिंग सामग्री विकसित की जा सकती है।
निक्षेपण प्रौद्योगिकी: टैंटलम कार्बाइड कोटिंग्स की गुणवत्ता और प्रदर्शन को अनुकूलित करने के लिए बेहतर पीवीडी और सीवीडी प्रौद्योगिकियों जैसी अधिक कुशल और सटीक जमाव प्रौद्योगिकियों का होना संभव होगा।
नये अनुप्रयोग क्षेत्र: के अनुप्रयोग क्षेत्रटैंटलम कार्बाइड कोटिंग्सउच्च-प्रदर्शन सामग्री की मांग को पूरा करने के लिए एयरोस्पेस, ऊर्जा और ऑटोमोटिव उद्योगों जैसे अधिक उच्च तकनीक और औद्योगिक क्षेत्रों में विस्तार करेगा।
पोस्ट समय: अगस्त-08-2024