एमओसीवीडी ससेप्टर क्या है?

एमओसीवीडीविधि वर्तमान में उद्योग में उच्च गुणवत्ता वाली एकल क्रिस्टलीय पतली फिल्मों, जैसे एकल चरण InGaN एपिलेयर, III-N सामग्री, और मल्टी क्वांटम वेल संरचनाओं के साथ अर्धचालक फिल्मों को विकसित करने के लिए उपयोग की जाने वाली सबसे स्थिर प्रक्रियाओं में से एक है, और इसका बहुत महत्व है। सेमीकंडक्टर और ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक उपकरणों का निर्माण।

SiC कोटिंग MOCVD ससेप्टरसिलिकॉन कार्बाइड (SiC) से लेपित एक विशेष वेफर होल्डर हैepitaxial धातु कार्बनिक रासायनिक वाष्प जमाव (MOCVD) प्रक्रिया में वृद्धि।

SiC कोटिंग में उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिरोध और थर्मल स्थिरता है, जो इसे एपिटैक्सियल विकास प्रक्रियाओं की मांग में उपयोग किए जाने वाले MOCVD रिसेप्टर्स के लिए एक आदर्श विकल्प बनाती है।

एमओसीवीडी प्रक्रिया का एक प्रमुख घटक ससेप्टर है, जो उत्पादित पतली फिल्मों की एकरूपता और गुणवत्ता सुनिश्चित करने के लिए एक प्रमुख तत्व है।

संग्राहक क्या है? ससेप्टर एक विशेष घटक है जिसका उपयोग MOCVD प्रक्रिया में उस सब्सट्रेट को सहारा देने और गर्म करने के लिए किया जाता है जिस पर पतली फिल्म जमा होती है। इसके कई कार्य हैं, जिनमें विद्युत चुम्बकीय ऊर्जा को अवशोषित करना, इसे गर्मी में परिवर्तित करना और सब्सट्रेट पर गर्मी को समान रूप से वितरित करना शामिल है। सटीक मोटाई और संरचना वाली एकसमान पतली फिल्मों के विकास के लिए यह समान तापन आवश्यक है।

संग्राहकों के प्रकार:
1. ग्रेफाइट ससेप्टर्स: ग्रेफाइट ससेप्टर्स को अक्सर एक सुरक्षात्मक परत के साथ लेपित किया जाता है जैसे किसिलिकॉन कार्बाइड (SiC), जो अपनी उच्च तापीय चालकता और स्थिरता के लिए जाना जाता है।SiC कोटिंगएक कठोर, सुरक्षात्मक सतह प्रदान करता है जो उच्च तापमान पर संक्षारण और गिरावट का प्रतिरोध करता है।

2. सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) ससेप्टर्स: ये ससेप्टर्स पूरी तरह से SiC से बने होते हैं और इनमें उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता और पहनने का प्रतिरोध होता है। SiC अतिसंवेदनशील उच्च तापमान प्रक्रियाओं और संक्षारक वातावरण के लिए विशेष रूप से उपयुक्त हैं।

एमओसीवीडी में रिसेप्टर्स कैसे काम करते हैं:

एमओसीवीडी प्रक्रिया में, अग्रदूतों को प्रतिक्रिया कक्ष में पेश किया जाता है जहां वे विघटित होते हैं और सब्सट्रेट पर एक पतली फिल्म बनाने के लिए प्रतिक्रिया करते हैं। ससेप्टर यह सुनिश्चित करके एक महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है कि सब्सट्रेट समान रूप से गर्म हो, जो संपूर्ण सब्सट्रेट सतह पर लगातार फिल्म गुणों को प्राप्त करने के लिए महत्वपूर्ण है। तापमान सीमा और रासायनिक अनुकूलता जैसी जमाव प्रक्रिया की विशिष्ट आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए अतिसंवेदनशील की सामग्री और डिज़ाइन का सावधानीपूर्वक चयन किया जाता है।

उच्च गुणवत्ता वाले सूसेप्टर्स का उपयोग करने के लाभ:
• उन्नत फिल्म गुणवत्ता: समान ताप वितरण प्रदान करके, ससेप्टर लगातार मोटाई और संरचना वाली फिल्मों को प्राप्त करने में मदद करता है, जो अर्धचालक उपकरणों के प्रदर्शन के लिए महत्वपूर्ण है।
• बेहतर प्रक्रिया दक्षता: उच्च गुणवत्ता वाले रिसेप्टर्स दोषों की संभावना को कम करके और प्रयोग करने योग्य फिल्मों की उपज में वृद्धि करके एमओसीवीडी प्रक्रिया की समग्र दक्षता में वृद्धि करते हैं।
• जीवनकाल और विश्वसनीयता: SiC जैसी टिकाऊ सामग्रियों से बने रिसेप्टर्स दीर्घकालिक विश्वसनीयता सुनिश्चित करते हैं और रखरखाव लागत को कम करते हैं।

ससेप्टर एमओसीवीडी प्रक्रिया में एक अभिन्न अंग है और पतली फिल्म जमाव की गुणवत्ता और दक्षता को सीधे प्रभावित करता है। उपलब्ध आकारों, एमओसीवीडी रिसेप्टर्स और कीमतों के बारे में अधिक जानकारी के लिए, कृपया हमसे संपर्क करने में संकोच न करें। हमारे इंजीनियर आपको उपयुक्त सामग्री पर सलाह देने और आपके सभी सवालों का जवाब देने में प्रसन्न होंगे।

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