हम SiC सबस्ट्रेट्स के लिए उत्पादन-प्रसंस्करण चरण इस प्रकार हैं:
1. क्रिस्टल अभिविन्यास: क्रिस्टल पिंड को उन्मुख करने के लिए एक्स-रे विवर्तन का उपयोग करना। जब एक एक्स-रे किरण को वांछित क्रिस्टल चेहरे पर निर्देशित किया जाता है, तो विवर्तित किरण का कोण क्रिस्टल अभिविन्यास निर्धारित करता है।
2. बाहरी व्यास पीसना: ग्रेफाइट क्रूसिबल में उगाए गए एकल क्रिस्टल अक्सर मानक व्यास से अधिक होते हैं। बाहरी व्यास को पीसने से वे मानक आकार में कम हो जाते हैं।
3.एंड फेस ग्राइंडिंग: 4-इंच 4H-SiC सब्सट्रेट में आमतौर पर दो पोजिशनिंग किनारे होते हैं, प्राथमिक और द्वितीयक। एंड फेस ग्राइंडिंग से ये पोजिशनिंग किनारे खुल जाते हैं।
4. तार काटना: 4H-SiC सबस्ट्रेट्स के प्रसंस्करण में तार काटना एक महत्वपूर्ण कदम है। तार काटने के दौरान होने वाली दरारें और उप-सतह क्षति बाद की प्रक्रियाओं पर नकारात्मक प्रभाव डालती है, प्रसंस्करण समय बढ़ाती है और सामग्री की हानि होती है। सबसे आम तरीका हीरा अपघर्षक के साथ बहु-तार काटने का कार्य है। हीरे के अपघर्षक के साथ बंधे धातु के तारों की पारस्परिक गति का उपयोग 4H-SiC पिंड को काटने के लिए किया जाता है।
5. चम्फरिंग: किनारों को टूटने से बचाने और बाद की प्रक्रियाओं के दौरान उपभोज्य नुकसान को कम करने के लिए, तार-आरी चिप्स के तेज किनारों को निर्दिष्ट आकार में चैंबर किया जाता है।
6. पतला करना: तार काटने से कई खरोंचें और उप-सतह क्षति होती है। इन दोषों को यथासंभव दूर करने के लिए हीरे के पहियों का उपयोग करके थिनिंग की जाती है।
7. पीसना: इस प्रक्रिया में पतलेपन के दौरान बचे हुए नुकसान और नए नुकसान को दूर करने के लिए छोटे आकार के बोरॉन कार्बाइड या हीरे के अपघर्षक का उपयोग करके खुरदरा पीसना और बारीक पीसना शामिल है।
8. पॉलिशिंग: अंतिम चरण में एल्यूमिना या सिलिकॉन ऑक्साइड अपघर्षक का उपयोग करके रफ पॉलिशिंग और बारीक पॉलिशिंग शामिल है। पॉलिश करने वाला तरल सतह को नरम कर देता है, जिसे बाद में अपघर्षक द्वारा यांत्रिक रूप से हटा दिया जाता है। यह कदम एक चिकनी और अक्षुण्ण सतह सुनिश्चित करता है।
9. सफाई: प्रसंस्करण चरणों से बचे कणों, धातुओं, ऑक्साइड फिल्मों, कार्बनिक अवशेषों और अन्य दूषित पदार्थों को हटाना।
पोस्ट समय: मई-15-2024