सामान्य TaC लेपित ग्रेफाइट भागों की तैयारी विधि

भाग ---- पहला
सीवीडी (रासायनिक वाष्प जमाव) विधि:
900-2300℃ पर, TaCl का उपयोग करके₅और CnHm टैंटलम और कार्बन स्रोतों के रूप में, H₂ वायुमंडल को कम करने के रूप में, Ar₂ वाहक गैस के रूप में, प्रतिक्रिया जमाव फिल्म के रूप में। तैयार कोटिंग कॉम्पैक्ट, एक समान और उच्च शुद्धता वाली है। हालाँकि, कुछ समस्याएं हैं जैसे जटिल प्रक्रिया, महंगी लागत, कठिन वायु प्रवाह नियंत्रण और कम जमाव दक्षता।
भाग/2
घोल सिंटरिंग विधि:
कार्बन स्रोत, टैंटलम स्रोत, डिस्पर्सेंट और बाइंडर युक्त घोल को ग्रेफाइट पर लेपित किया जाता है और सूखने के बाद उच्च तापमान पर सिंटर किया जाता है। तैयार कोटिंग नियमित अभिविन्यास के बिना बढ़ती है, इसकी लागत कम है और बड़े पैमाने पर उत्पादन के लिए उपयुक्त है। बड़े ग्रेफाइट पर एक समान और पूर्ण कोटिंग प्राप्त करने, समर्थन दोषों को खत्म करने और कोटिंग बॉन्डिंग बल को बढ़ाने के लिए इसका पता लगाया जाना बाकी है।
भाग/3
प्लाज्मा छिड़काव विधि:
TaC पाउडर को उच्च तापमान पर प्लाज्मा चाप द्वारा पिघलाया जाता है, उच्च गति जेट द्वारा उच्च तापमान की बूंदों में परमाणुकृत किया जाता है, और ग्रेफाइट सामग्री की सतह पर स्प्रे किया जाता है। गैर-वैक्यूम के तहत ऑक्साइड परत बनाना आसान है, और ऊर्जा की खपत बड़ी है।

 

आकृति । GaN एपिटैक्सियल विकसित MOCVD डिवाइस (Veeco P75) में उपयोग के बाद वेफर ट्रे। बाईं ओर वाला TaC से लेपित है और दाईं ओर वाला SiC से लेपित है।

TaC लेपितग्रेफाइट भागों को हल करने की आवश्यकता है

भाग ---- पहला
बंधनकारी बल:
TaC और कार्बन सामग्रियों के बीच थर्मल विस्तार गुणांक और अन्य भौतिक गुण भिन्न होते हैं, कोटिंग की बंधन शक्ति कम होती है, दरारें, छिद्रों और थर्मल तनाव से बचना मुश्किल होता है, और सड़ांध युक्त वास्तविक वातावरण में कोटिंग को छीलना आसान होता है। बार-बार उठने और ठंडा होने की प्रक्रिया।
भाग/2
पवित्रता:
TaC कोटिंगउच्च तापमान की स्थिति के तहत अशुद्धियों और प्रदूषण से बचने के लिए अति-उच्च शुद्धता की आवश्यकता होती है, और सतह पर और पूर्ण कोटिंग के अंदर मुक्त कार्बन और आंतरिक अशुद्धियों के प्रभावी सामग्री मानकों और लक्षण वर्णन मानकों पर सहमति की आवश्यकता होती है।
भाग/3
स्थिरता:
2300℃ से ऊपर उच्च तापमान प्रतिरोध और रासायनिक वातावरण प्रतिरोध कोटिंग की स्थिरता का परीक्षण करने के लिए सबसे महत्वपूर्ण संकेतक हैं। पिनहोल, दरारें, गायब कोने, और एकल अभिविन्यास अनाज की सीमाएं संक्षारक गैसों को ग्रेफाइट में घुसने और घुसने का कारण बनती हैं, जिसके परिणामस्वरूप कोटिंग सुरक्षा विफलता होती है।
भाग/4
ऑक्सीकरण प्रतिरोध:
TaC 500℃ से ऊपर होने पर Ta2O5 में ऑक्सीकरण करना शुरू कर देता है, और तापमान और ऑक्सीजन सांद्रता में वृद्धि के साथ ऑक्सीकरण दर तेजी से बढ़ जाती है। सतह का ऑक्सीकरण अनाज की सीमाओं और छोटे अनाजों से शुरू होता है, और धीरे-धीरे स्तंभ क्रिस्टल और टूटे हुए क्रिस्टल बनाता है, जिसके परिणामस्वरूप बड़ी संख्या में अंतराल और छेद होते हैं, और कोटिंग हटने तक ऑक्सीजन घुसपैठ तेज हो जाती है। परिणामी ऑक्साइड परत में खराब तापीय चालकता और दिखने में विभिन्न प्रकार के रंग होते हैं।
भाग/5
एकरूपता और खुरदरापन:
कोटिंग सतह के असमान वितरण से स्थानीय थर्मल तनाव एकाग्रता हो सकती है, जिससे दरार पड़ने और टूटने का खतरा बढ़ जाता है। इसके अलावा, सतह का खुरदरापन सीधे कोटिंग और बाहरी वातावरण के बीच बातचीत को प्रभावित करता है, और बहुत अधिक खुरदरापन आसानी से वेफर और असमान थर्मल क्षेत्र के साथ घर्षण को बढ़ा देता है।
भाग/6
अनाज आकार:
समान दाने का आकार कोटिंग की स्थिरता में मदद करता है। यदि अनाज का आकार छोटा है, तो बंधन कड़ा नहीं है, और इसका ऑक्सीकरण और संक्षारण होना आसान है, जिसके परिणामस्वरूप अनाज के किनारे में बड़ी संख्या में दरारें और छेद होते हैं, जो कोटिंग के सुरक्षात्मक प्रदर्शन को कम करता है। यदि दाने का आकार बहुत बड़ा है, तो यह अपेक्षाकृत खुरदरा होता है, और थर्मल तनाव के तहत कोटिंग आसानी से निकल जाती है।