फोटोरेसिस्ट का वर्तमान में ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक सूचना उद्योग में बढ़िया ग्राफिक सर्किट के प्रसंस्करण और उत्पादन में व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है। फोटोलिथोग्राफी प्रक्रिया की लागत पूरी चिप निर्माण प्रक्रिया का लगभग 35% है, और समय की खपत पूरी चिप प्रक्रिया का 40% से 60% है। यह सेमीकंडक्टर निर्माण की मुख्य प्रक्रिया है। फोटोरेसिस्ट सामग्री चिप निर्माण सामग्री की कुल लागत का लगभग 4% है और सेमीकंडक्टर एकीकृत सर्किट निर्माण के लिए मुख्य सामग्री है।
चीन के फोटोरेसिस्ट बाजार की वृद्धि दर अंतरराष्ट्रीय स्तर से अधिक है। प्रॉस्पेक्टिव इंडस्ट्री रिसर्च इंस्टीट्यूट के आंकड़ों के अनुसार, 2019 में मेरे देश की फोटोरेसिस्ट की स्थानीय आपूर्ति लगभग 7 बिलियन युआन थी, और 2010 के बाद से चक्रवृद्धि वृद्धि दर 11% तक पहुंच गई है, जो वैश्विक विकास दर से बहुत अधिक है। हालाँकि, स्थानीय आपूर्ति वैश्विक हिस्सेदारी का केवल 10% है, और घरेलू प्रतिस्थापन मुख्य रूप से निम्न-स्तरीय पीसीबी फोटोरेसिस्ट के लिए हासिल किया गया है। एलसीडी और सेमीकंडक्टर क्षेत्रों में फोटोरेसिस्ट की आत्मनिर्भरता दर बेहद कम है।
फोटोरेसिस्ट एक ग्राफिक ट्रांसफर माध्यम है जो मास्क पैटर्न को सब्सट्रेट में स्थानांतरित करने के लिए प्रकाश प्रतिक्रिया के बाद विभिन्न घुलनशीलता का उपयोग करता है। यह मुख्य रूप से फोटोसेंसिटिव एजेंट (फोटोइनिशिएटर), पॉलीमराइज़र (फोटोसेंसिटिव रेजिन), सॉल्वेंट और एडिटिव से बना है।
फोटोरेसिस्ट के कच्चे माल मुख्य रूप से राल, विलायक और अन्य योजक हैं। उनमें से, विलायक का अनुपात सबसे बड़ा है, आम तौर पर 80% से अधिक। यद्यपि अन्य योजक द्रव्यमान के 5% से कम होते हैं, वे प्रमुख सामग्रियां हैं जो फोटोरेसिस्ट के अद्वितीय गुणों को निर्धारित करते हैं, जिनमें फोटोसेंसिटाइज़र, सर्फेक्टेंट और अन्य सामग्रियां शामिल हैं। फोटोलिथोग्राफी प्रक्रिया में, फोटोरेसिस्ट को सिलिकॉन वेफर्स, ग्लास और धातु जैसे विभिन्न सब्सट्रेट्स पर समान रूप से लेपित किया जाता है। एक्सपोज़र, विकास और नक़्क़ाशी के बाद, मास्क पर पैटर्न को एक ज्यामितीय पैटर्न बनाने के लिए फिल्म में स्थानांतरित किया जाता है जो पूरी तरह से मास्क से मेल खाता है।
फोटोरेसिस्ट को इसके डाउनस्ट्रीम एप्लिकेशन फ़ील्ड के अनुसार तीन श्रेणियों में विभाजित किया जा सकता है: सेमीकंडक्टर फोटोरेसिस्ट, पैनल फोटोरेसिस्ट और पीसीबी फोटोरेसिस्ट।
सेमीकंडक्टर फोटोरेसिस्ट
वर्तमान में, KrF/ArF अभी भी मुख्यधारा प्रसंस्करण सामग्री है। एकीकृत सर्किट के विकास के साथ, फोटोलिथोग्राफी तकनीक जी-लाइन (436एनएम) लिथोग्राफी, एच-लाइन (405एनएम) लिथोग्राफी, आई-लाइन (365एनएम) लिथोग्राफी से लेकर गहरी पराबैंगनी डीयूवी लिथोग्राफी (केआरएफ248एनएम और एआरएफ193एनएम) तक विकसित हुई है। 193एनएम विसर्जन प्लस मल्टीपल इमेजिंग तकनीक (32एनएम-7एनएम), और फिर चरम तक पराबैंगनी (ईयूवी, <13.5 एनएम) लिथोग्राफी, और यहां तक कि गैर-ऑप्टिकल लिथोग्राफी (इलेक्ट्रॉन बीम एक्सपोज़र, आयन बीम एक्सपोज़र), और प्रकाश संवेदनशील तरंग दैर्ध्य के रूप में संबंधित तरंग दैर्ध्य के साथ विभिन्न प्रकार के फोटोरेसिस्ट भी लागू किए गए हैं।
फोटोरेसिस्ट बाजार में उच्च स्तर की उद्योग एकाग्रता है। सेमीकंडक्टर फोटोरेसिस्ट के क्षेत्र में जापानी कंपनियों को पूर्ण लाभ है। मुख्य सेमीकंडक्टर फोटोरेसिस्ट निर्माताओं में जापान में टोक्यो ओहका, जेएसआर, सुमितोमो केमिकल, शिन-एत्सु केमिकल शामिल हैं; दक्षिण कोरिया में डोंगजिन सेमीकंडक्टर; और संयुक्त राज्य अमेरिका में DowDuPont, जिनमें से जापानी कंपनियों का लगभग 70% बाजार हिस्सेदारी पर कब्जा है। उत्पादों के मामले में, टोक्यो ओहका जी-लाइन/आई-लाइन और केआरएफ फोटोरेसिस्ट के क्षेत्र में क्रमशः 27.5% और 32.7% की बाजार हिस्सेदारी के साथ अग्रणी है। Arf फोटोरेसिस्ट के क्षेत्र में JSR की बाजार हिस्सेदारी सबसे अधिक 25.6% है।
फ़ूजी आर्थिक पूर्वानुमानों के अनुसार, वैश्विक एआरएफ और केआरएफ गोंद उत्पादन क्षमता 2023 में 1,870 और 3,650 टन तक पहुंचने की उम्मीद है, जिसका बाजार आकार लगभग 4.9 बिलियन और 2.8 बिलियन युआन है। फोटोरेसिस्ट सहित जापानी फोटोरेसिस्ट नेताओं जेएसआर और टीओके का सकल लाभ मार्जिन लगभग 40% है, जिसमें से फोटोरेसिस्ट कच्चे माल की लागत लगभग 90% है।
घरेलू सेमीकंडक्टर फोटोरेसिस्ट निर्माताओं में शंघाई ज़िनयांग, नानजिंग ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक्स, जिंगरुई कंपनी लिमिटेड, बीजिंग केहुआ और हेंगकुन कंपनी लिमिटेड शामिल हैं। वर्तमान में, केवल बीजिंग केहुआ और जिंगरुई कंपनी लिमिटेड के पास बड़े पैमाने पर केआरएफ फोटोरेसिस्ट का उत्पादन करने की क्षमता है। , और बीजिंग केहुआ के उत्पादों को SMIC को आपूर्ति की गई है। शंघाई ज़िनयांग में निर्माणाधीन 19,000 टन/वर्ष की एआरएफ (शुष्क प्रक्रिया) फोटोरेसिस्ट परियोजना के 2022 में पूर्ण उत्पादन तक पहुंचने की उम्मीद है।
पैनल फोटोरेसिस्ट
एलसीडी पैनल निर्माण के लिए फोटोरेसिस्ट एक प्रमुख सामग्री है। विभिन्न उपयोगकर्ताओं के अनुसार, इसे आरजीबी गोंद, बीएम गोंद, ओसी गोंद, पीएस गोंद, टीएफटी गोंद, आदि में विभाजित किया जा सकता है।
पैनल फोटोरेसिस्ट में मुख्य रूप से चार श्रेणियां शामिल हैं: टीएफटी वायरिंग फोटोरेसिस्ट, एलसीडी/टीपी स्पेसर फोटोरेसिस्ट, रंगीन फोटोरेसिस्ट और ब्लैक फोटोरेसिस्ट। उनमें से, टीएफटी वायरिंग फोटोरेसिस्ट का उपयोग आईटीओ वायरिंग के लिए किया जाता है, और एलसीडी/टीपी वर्षा फोटोरेसिस्ट का उपयोग एलसीडी के दो ग्लास सब्सट्रेट्स के बीच लिक्विड क्रिस्टल सामग्री की मोटाई को बनाए रखने के लिए किया जाता है। कलर फोटोरेसिस्ट और ब्लैक फोटोरेसिस्ट कलर फिल्टर को रंग रेंडरिंग फ़ंक्शन दे सकते हैं।
पैनल फोटोरेसिस्ट बाजार को स्थिर होने की जरूरत है, और रंगीन फोटोरेसिस्ट की मांग अग्रणी है। उम्मीद है कि 2022 में वैश्विक बिक्री 22,900 टन तक पहुंच जाएगी और बिक्री 877 मिलियन अमेरिकी डॉलर तक पहुंच जाएगी।
2022 में टीएफटी पैनल फोटोरेसिस्ट, एलसीडी/टीपी स्पेसर फोटोरेसिस्ट और ब्लैक फोटोरेसिस्ट की बिक्री क्रमशः 321 मिलियन अमेरिकी डॉलर, 251 मिलियन अमेरिकी डॉलर और 199 मिलियन अमेरिकी डॉलर तक पहुंचने की उम्मीद है। झियान कंसल्टिंग के अनुमान के अनुसार, वैश्विक पैनल फोटोरेसिस्ट बाजार का आकार पहुंच जाएगा। 2020 में आरएमबी 16.7 बिलियन, लगभग 4% की वृद्धि दर के साथ। हमारे अनुमान के अनुसार, फोटोरेसिस्ट बाजार 2025 तक आरएमबी 20.3 बिलियन तक पहुंच जाएगा। उनमें से, एलसीडी उद्योग केंद्र के हस्तांतरण के साथ, मेरे देश में एलसीडी फोटोरेसिस्ट के बाजार का आकार और स्थानीयकरण दर धीरे-धीरे बढ़ने की उम्मीद है।
पीसीबी फोटोरेसिस्ट
कोटिंग विधि के अनुसार पीसीबी फोटोरेसिस्ट को यूवी इलाज स्याही और यूवी स्प्रे स्याही में विभाजित किया जा सकता है। वर्तमान में, घरेलू पीसीबी स्याही आपूर्तिकर्ताओं ने धीरे-धीरे घरेलू प्रतिस्थापन हासिल कर लिया है, और रोंगडा फोटोसेंसिटिव और गुआंगक्सिन मटेरियल्स जैसी कंपनियों ने पीसीबी स्याही की प्रमुख प्रौद्योगिकियों में महारत हासिल कर ली है।
घरेलू टीएफटी फोटोरेसिस्ट और सेमीकंडक्टर फोटोरेसिस्ट अभी भी प्रारंभिक अन्वेषण चरण में हैं। जिंगरुई कंपनी लिमिटेड, याक टेक्नोलॉजी, योंगटाई टेक्नोलॉजी, रोंगडा फोटोसेंसिटिव, ज़िनिहुआ, चाइना इलेक्ट्रॉनिक्स रेनबो, और फ़ेइकाई मटेरियल्स सभी के पास टीएफटी फोटोरेसिस्ट के क्षेत्र में लेआउट हैं। उनमें से, फ़ेइकाई मटेरियल्स और बेइक्सू इलेक्ट्रॉनिक्स ने 5,000 टन/वर्ष तक की उत्पादन क्षमता की योजना बनाई है। याक टेक्नोलॉजी ने एलजी केम के कलर फोटोरेसिस्ट डिवीजन का अधिग्रहण करके इस बाजार में प्रवेश किया है, और इसमें चैनल और प्रौद्योगिकी के फायदे हैं।
फोटोरेसिस्ट जैसी अत्यधिक उच्च तकनीकी बाधाओं वाले उद्योगों के लिए, तकनीकी स्तर पर सफलता प्राप्त करना नींव है, और दूसरी बात, सेमीकंडक्टर उद्योग के तेजी से विकास की जरूरतों को पूरा करने के लिए प्रक्रियाओं में निरंतर सुधार की आवश्यकता होती है।
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पोस्ट करने का समय: नवंबर-27-2024