CVD SiC क्या है?
रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) एक वैक्यूम जमाव प्रक्रिया है जिसका उपयोग उच्च शुद्धता वाले ठोस पदार्थों का उत्पादन करने के लिए किया जाता है। इस प्रक्रिया का उपयोग अक्सर अर्धचालक विनिर्माण क्षेत्र में वेफर्स की सतह पर पतली फिल्म बनाने के लिए किया जाता है। सीवीडी द्वारा SiC तैयार करने की प्रक्रिया में, सब्सट्रेट एक या अधिक अस्थिर अग्रदूतों के संपर्क में आता है, जो वांछित SiC जमा करने के लिए सब्सट्रेट की सतह पर रासायनिक रूप से प्रतिक्रिया करता है। SiC सामग्री तैयार करने की कई विधियों में से, रासायनिक वाष्प जमाव द्वारा तैयार किए गए उत्पादों में उच्च एकरूपता और शुद्धता होती है, और विधि में मजबूत प्रक्रिया नियंत्रणीयता होती है।
सीवीडी सीआईसी सामग्रियां अर्धचालक उद्योग में उपयोग के लिए बहुत उपयुक्त हैं, जिन्हें उत्कृष्ट थर्मल, इलेक्ट्रिकल और रासायनिक गुणों के अद्वितीय संयोजन के कारण उच्च प्रदर्शन वाली सामग्रियों की आवश्यकता होती है। सीवीडी SiC घटकों का व्यापक रूप से नक़्क़ाशी उपकरण, MOCVD उपकरण, Si एपिटैक्सियल उपकरण और SiC एपिटैक्सियल उपकरण, रैपिड थर्मल प्रोसेसिंग उपकरण और अन्य क्षेत्रों में उपयोग किया जाता है।
कुल मिलाकर, सीवीडी सीआईसी घटकों का सबसे बड़ा बाजार खंड नक़्क़ाशी उपकरण घटक है। क्लोरीन और फ्लोरीन युक्त नक़्क़ाशी गैसों के प्रति इसकी कम प्रतिक्रियाशीलता और चालकता के कारण, सीवीडी सिलिकॉन कार्बाइड प्लाज्मा नक़्क़ाशी उपकरण में फोकस रिंग जैसे घटकों के लिए एक आदर्श सामग्री है।
नक़्क़ाशी उपकरण में सीवीडी सिलिकॉन कार्बाइड घटकों में फोकस रिंग, गैस शॉवर हेड, ट्रे, एज रिंग आदि शामिल हैं। उदाहरण के रूप में फोकस रिंग लेते हुए, फोकस रिंग वेफर के बाहर और सीधे वेफर के संपर्क में रखा जाने वाला एक महत्वपूर्ण घटक है। रिंग से गुजरने वाले प्लाज्मा पर ध्यान केंद्रित करने के लिए रिंग पर वोल्टेज लगाने से, प्रसंस्करण की एकरूपता में सुधार के लिए प्लाज्मा को वेफर पर केंद्रित किया जाता है।
पारंपरिक फोकस रिंग सिलिकॉन या क्वार्ट्ज से बने होते हैं। एकीकृत सर्किट लघुकरण की प्रगति के साथ, एकीकृत सर्किट निर्माण में नक़्क़ाशी प्रक्रियाओं की मांग और महत्व बढ़ रहा है, और नक़्क़ाशी प्लाज्मा की शक्ति और ऊर्जा में वृद्धि जारी है। विशेष रूप से, कैपेसिटिवली कपल्ड (सीसीपी) प्लाज्मा नक़्क़ाशी उपकरण में आवश्यक प्लाज्मा ऊर्जा अधिक होती है, इसलिए सिलिकॉन कार्बाइड सामग्री से बने फोकस रिंगों की उपयोग दर बढ़ रही है। सीवीडी सिलिकॉन कार्बाइड फोकस रिंग का योजनाबद्ध आरेख नीचे दिखाया गया है:
पोस्ट करने का समय: जून-20-2024