सेमीकंडक्टर क्षेत्र में सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक का अनुप्रयोग

अर्धचालक:

सेमीकंडक्टर उद्योग "एक पीढ़ी की प्रौद्योगिकी, एक पीढ़ी की प्रक्रिया और एक पीढ़ी के उपकरण" के औद्योगिक कानून का पालन करता है, और सेमीकंडक्टर उपकरण का उन्नयन और पुनरावृत्ति काफी हद तक सटीक भागों की तकनीकी सफलता पर निर्भर करता है। उनमें से, परिशुद्धता सिरेमिक भाग सबसे अधिक प्रतिनिधि अर्धचालक परिशुद्धता भाग सामग्री हैं, जिनका रासायनिक वाष्प जमाव, भौतिक वाष्प जमाव, आयन आरोपण और नक़्क़ाशी जैसे प्रमुख अर्धचालक विनिर्माण लिंक की श्रृंखला में महत्वपूर्ण अनुप्रयोग हैं। जैसे बियरिंग, गाइड रेल, लाइनिंग, इलेक्ट्रोस्टैटिक चक, मैकेनिकल हैंडलिंग आर्म्स आदि। विशेष रूप से उपकरण गुहा के अंदर, यह समर्थन, सुरक्षा और डायवर्जन की भूमिका निभाता है।

2023 के बाद से, नीदरलैंड और जापान ने भी नियंत्रण पर नए नियम या विदेशी व्यापार आदेश जारी किए हैं, जिसमें लिथोग्राफी मशीनों सहित सेमीकंडक्टर उपकरणों के लिए निर्यात लाइसेंस नियम शामिल हैं, और सेमीकंडक्टर विरोधी वैश्वीकरण की प्रवृत्ति धीरे-धीरे उभरी है। आपूर्ति श्रृंखला के स्वतंत्र नियंत्रण का महत्व तेजी से प्रमुख हो गया है। सेमीकंडक्टर उपकरण भागों के स्थानीयकरण की मांग का सामना करते हुए, घरेलू कंपनियां सक्रिय रूप से औद्योगिक विकास को बढ़ावा दे रही हैं। झोंगसी इलेक्ट्रॉनिक्स ने घरेलू सेमीकंडक्टर उपकरण उद्योग की "अड़चन" समस्या को हल करते हुए हीटिंग प्लेट और इलेक्ट्रोस्टैटिक चक जैसे उच्च तकनीक सटीक भागों के स्थानीयकरण का एहसास किया है; Dezhi न्यू मटेरियल्स, SiC लेपित ग्रेफाइट बेस और SiC नक़्क़ाशी रिंगों के एक प्रमुख घरेलू आपूर्तिकर्ता ने 100 मिलियन युआन आदि का वित्तपोषण सफलतापूर्वक पूरा कर लिया है...
उच्च चालकता सिलिकॉन नाइट्राइड सिरेमिक सबस्ट्रेट्स:

सिलिकॉन नाइट्राइड सिरेमिक सब्सट्रेट्स का उपयोग मुख्य रूप से बिजली इकाइयों, सेमीकंडक्टर उपकरणों और शुद्ध इलेक्ट्रिक वाहनों (ईवी) और हाइब्रिड इलेक्ट्रिक वाहनों (एचईवी) के इनवर्टर में किया जाता है, और इसमें बड़ी बाजार क्षमता और अनुप्रयोग संभावनाएं हैं।

वर्तमान में, व्यावसायिक अनुप्रयोगों के लिए उच्च तापीय चालकता सिलिकॉन नाइट्राइड सिरेमिक सब्सट्रेट सामग्री के लिए तापीय चालकता ≥85 W/(m·K), झुकने की शक्ति ≥650MPa, और फ्रैक्चर कठोरता 5~7MPa·m1/2 की आवश्यकता होती है। जो कंपनियाँ वास्तव में उच्च तापीय चालकता वाले सिलिकॉन नाइट्राइड सिरेमिक सब्सट्रेट्स का बड़े पैमाने पर उत्पादन करने की क्षमता रखती हैं, वे मुख्य रूप से तोशिबा ग्रुप, हिताची मेटल्स, जापान इलेक्ट्रिक केमिकल, जापान मारुवा और जापान फाइन सिरेमिक्स हैं।

सिलिकॉन नाइट्राइड सिरेमिक सब्सट्रेट सामग्री पर घरेलू अनुसंधान ने भी कुछ प्रगति की है। सिनोमा हाई-टेक नाइट्राइड सिरेमिक कंपनी लिमिटेड की बीजिंग शाखा की टेप-कास्टिंग प्रक्रिया द्वारा तैयार सिलिकॉन नाइट्राइड सिरेमिक सब्सट्रेट की तापीय चालकता 100 W/(m·K) है; बीजिंग सिनोमा आर्टिफिशियल क्रिस्टल रिसर्च इंस्टीट्यूट कंपनी लिमिटेड ने 700-800MPa की झुकने की ताकत, फ्रैक्चर क्रूरता ≥8MPa·m1/2, और तापीय चालकता ≥80W/(m·K) के साथ एक सिलिकॉन नाइट्राइड सिरेमिक सब्सट्रेट सफलतापूर्वक तैयार किया है। सिंटरिंग विधि और प्रक्रिया को अनुकूलित करके।