ठोस सीवीडी सिलिकॉन कार्बाइड भागों को आरटीपी/ईपीआई रिंगों और बेस और प्लाज़्मा ईच कैविटी भागों के लिए प्राथमिक पसंद के रूप में पहचाना जाता है जो उच्च सिस्टम आवश्यक ऑपरेटिंग तापमान (> 1500 डिग्री सेल्सियस) पर काम करते हैं, शुद्धता की आवश्यकताएं विशेष रूप से उच्च हैं (> 99.9995%) और प्रदर्शन विशेष रूप से अच्छा होता है जब प्रतिरोध टोल रसायन विशेष रूप से उच्च होता है। इन सामग्रियों में अनाज के किनारे पर द्वितीयक चरण नहीं होते हैं, इसलिए ये घटक अन्य सामग्रियों की तुलना में कम कण उत्पन्न करते हैं। इसके अलावा, इन घटकों को कम गिरावट के साथ गर्म एचएफ/एचसीआई का उपयोग करके साफ किया जा सकता है, जिसके परिणामस्वरूप कम कण होते हैं और लंबे समय तक सेवा जीवन होता है।